擴散硅壓力變送器

擴散硅壓力變送器的定義

硅單晶材料在受到外力作用產生較微小應變時(一般步于400微應變)，其內部原子結構的電子能級狀態會發生變化，從而導致其電阻率劇烈變化(G因子突變)。用此材料制成的電阻也就出現較大變化，這種物理效應稱為壓阻效應。利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術經過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應變電阻，構成惠斯凳電橋，利用硅材料的彈性力學特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。給傳感器匹配一放大電路及相關部件，使之輸出一個標準信號，就組成了一臺完整的擴散硅壓力變送器。

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