潔凈棚主要由箱體、不銹鋼方通、FFU、風機、高效空氣過濾器、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。該產品既可懸掛，又可地面支撐，萬級潔凈棚，結構緊湊，使用方便。可以單個使用，也可多個連接組成帶狀潔凈區域。

十萬級潔凈棚是一種投資少而凈化級別高，移動比較方便的簡易凈化裝置。將潔凈層流罩FFU放置在由**凈化鋁型材組裝而成的框架上。**部由盲板鋪蓋，密縫嚴密，四周用防靜電簾/防靜電有機玻璃圍縫使棚區內潔凈度達到100-10000級。

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? ?潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。

潔凈棚和無塵車間屬于同一類型的產品，河北潔凈棚，但不是一樣的產品。無塵車間和潔凈棚雖然都屬于潔凈設備但是本質上是有所不同的，潔凈棚的潔凈面積為區域潔凈，而無塵車間為全部面積潔凈。

　　除此之外無塵車間和潔凈棚在用料方面也有所不同。

　　潔凈棚框架一般可分為三種:不銹鋼方通、烤漆鐵方通以及工業鋁型材，**部及可用不銹鋼鋼板、烤漆冷塑鋼板、防靜電網格簾及壓克力有機玻璃等材料。周圍一般都是采用防靜電網格簾或是有機玻璃，潔凈棚價格，送風部用均采用FFU潔凈送風單元。

潔凈棚的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，不銹鋼潔凈棚，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以**有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜**過25度。

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