怎么理解質量流量計/質量流量控制器的流量單位？

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。標準狀態規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (27*K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數用戶而言，質量流量顯示儀報價，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min），這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數，質量流量顯示儀哪家好， 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說，在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。

需要注意的是， 被全世界質量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質量流量單位， 不符合國內計量標準的常用的質量流量的**單位（Kg/min）， 但是它符合**半導體協會制定的SEMI**標準。

流量積算儀的功能特點

智能 流量積算儀 全范圍自動溫度、壓力補償運算，補償方式任意設定

線性積算、開方積算任意設定

瞬時流量、累積流量、溫度、壓力多種參數顯示

小信號切除功能，切除范圍0-5%可選

智能 流量積算儀 的累積流量值可通過面板按鍵清零，清零操作可鎖

掉電保護功能，累積流量值掉電保持時間大于5年，所有設定值掉電后永1久保持

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液晶顯示流量積算儀

三通道輸入，具有三路流量積算功能的無紙記錄儀。儀表可輸入標準電流、標準電壓、熱電偶、熱電阻、頻率等信號，可提供傳感器配電輸出和模擬量變送輸出、繼電器觸點輸出。直接連接微型打印機，打印用戶指1定時間的實時，歷史數據和曲線；通過RS232通訊接口與便攜計算機、掌上電腦（PDA）連接，直接讀取儀表歷史數據，用戶通過數據管理軟件，對所取數據進行分析、存檔、打印處理。通過RS485通訊接口，質量流量顯示儀廠家，可與組態王、MCGS等專業組態軟件組成實時監控系統。儀表具有強大的顯示功能，高精度棒圖顯示、實時趨勢曲線 顯示、歷史曲線追憶、**限報警、報警狀態顯示、提供智能化歷史趨勢全自動回放功能。

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