怎么控制凈化車間的污染?
?潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化車間凈化工程具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜**過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度**過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。想了解更多相關(guān)信息,可以咨詢昭明凈化機電工程有限公司,謝謝!
凈化車間風(fēng)機如何選用
凈化車間通過循環(huán)及過濾足夠的風(fēng)量來達到潔凈度的標準。風(fēng)量按照凈化車間內(nèi)換氣次數(shù)來計算,常規(guī)是房間體積的10倍,幾十倍,百級、十級等無塵車間,換氣次數(shù)達到房間體積的幾百倍。風(fēng)機風(fēng)量通過初、中、高過濾器過濾和通過風(fēng)管輸送到凈化車間,克服這些阻力和其他系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備和配件的相關(guān)阻力,。那么空氣處理機組要提供這么大的壓頭,則需要相匹配的功率提供動力。想了解更多相關(guān)信息,可以咨詢昭明凈化機電工程有限公司,謝謝!
工廠凈化車間的布置方式
凈化車間一般包括:清潔區(qū)、準清潔區(qū)、輔助區(qū)三部分,要注意它們的布置方式有以下幾種:
外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
內(nèi)廊式:凈化車間設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的清潔度級別一般都比較高,甚至和無塵車間同級。
兩端式:潔凈區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準潔凈和輔助用房。
核心式:為了節(jié)約用地、縮短管線,可以潔凈區(qū)為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響,減少了冷熱能耗,利于節(jié)能。
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