70年代末，人們用離子鍍制成氮化鈦膜，沉積溫度低于550攝氏度，可鍍在高速鋼上，使高速鋼的涂覆率達(dá)到50%以上氮化鈦屬于間隙化合物，具有美麗的金光澤，化學(xué)穩(wěn)定性好，熔點(diǎn)高達(dá)3000℃，維氏顯微硬度為20GPa左右。氮化鈦以面心立方的-TiN和體心四方的Ti2N兩種相存在Ti2N的Ti/N比變化范圍很窄，而的N/Ti比的變化范圍則很寬。TiN在真空中加熱失去氮，生成氮含量較低的氮化鈦60年代末，人們以TiCl4為原料，用化學(xué)氣相沉積在硬質(zhì)合金基體上制備出氮化鈦膜，其反應(yīng)溫度在900-1100攝氏度

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