由于氮化鈦膜的硬度高、紅硬性好，并兼有良好的韌性，耐磨性好，能成倍提高硬質(zhì)合金的壽命，使硬質(zhì)合金涂筱率很快達(dá)到70%以上當(dāng)N/Ti偏離1時，TiN中存在原子空位。這兩種相的顏色和硬度相近。使用的氮化鈦鍍層，其中常常TiN和Ti2N兩相共存，其組成比可以通過工藝調(diào)節(jié)  。氮化鈦靶材---氮化鈦膜是指由鈦氮化合物組成的薄膜。氮化鈦屬于間隙化合物，具有美麗的金光澤，化學(xué)穩(wěn)定性好，熔點(diǎn)高達(dá)3000℃，維氏顯微硬度為20GPa左右。氮化鈦屬于間隙化合物，具有美麗的金光澤，化學(xué)穩(wěn)定性好，熔點(diǎn)高達(dá)3000℃，維氏顯微硬度為20GPa左右。氮化鈦以面心立方的-TiN和體心四方的Ti2N兩種相存在Ti2N的Ti/N比變化范圍很窄，而的N/Ti比的變化范圍則很寬。

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