特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對(duì)氣體有要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料，特種氣體興起于60年代中期，主要運(yùn)用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、科學(xué)、診斷、消毒、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。
特種氣體泄漏處理：
1、有氣體泄漏時(shí)，要確定泄漏處并制止泄漏；
2、處理有毒氣體時(shí)，—定要戴面罩、手套等防護(hù)用具；
3、不能制止氣體泄漏時(shí)：
1)應(yīng)根據(jù)情況，把車輛轉(zhuǎn)移到安全地點(diǎn)。
2)附近要禁止動(dòng)火。
3)氣體著火時(shí)，要根據(jù)情況滅火。
4)有毒氣體泄漏時(shí)，要做漏體的除害處理。
5)滅火困難或制止不住有毒氣體泄漏時(shí)，要通知消防隊(duì)，JC所，地區(qū)防災(zāi)事業(yè)所、工廠，銷售店。
6)要疏散附近的人員，同時(shí)禁止行人來往，不讓靠近。
7)應(yīng)根據(jù)情況，躲避到安全地點(diǎn)。

特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種、性質(zhì)有要求的氣體，隨著*工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)（特別是微電子技術(shù)）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)新動(dòng)力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜、等新興行業(yè)。

特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。同時(shí)，以類存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時(shí)在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

近年來，隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展，特種氣體的品種也與日俱增，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，現(xiàn)有單元特種氣體達(dá)260種左右，特種氣體已成為高科技應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的基本原料。特種單一氣體有260種，其中電子氣體114種（實(shí)際常用的約44種），有機(jī)氣體65種，無機(jī)氣體35種，鹵碳素氣體29種，同位素氣體17種。
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