YHG-1206I-CVD系統由滑動式管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。此系統燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。是為生長石墨烯生長、研發的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。
1、	高真空系統由雙級旋片真空泵和分子泵組成，最高真空可達0.0001Pa；
2、	可配合壓強控制儀控制氣體壓力，實現負壓的精準控制；
3、	數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制；
4、	每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統的安全性和連續均勻性；
5、	采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
6、	管路采用世界頂級Swagelok卡套連接，不漏氣；
7、	超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，使用安全可靠；
8、爐體可移動，能夠使加熱部分快速降溫。
主要技術參數：
爐體結構	雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫；
日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩
爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻
支撐兩端安裝油壓緩沖器
爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料
電源	電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
爐管	高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小
尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm
法蘭及支撐	SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空
一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷
可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐
包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合
加熱系統	加熱元件采用優質合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經久耐用
加熱區長度：410mm
恒溫區長度：200mm
工作溫度：≤1150℃
最高溫度：1200℃
升溫速率：10℃/min
溫控系統	溫度控制采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能
30段升降溫程序
測溫元件：N型熱電偶
恒溫精度：±1℃
混氣系統	三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制
內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥
管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套
每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥
通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量
流量規格：0~1SLM
流量精度：±1.5%

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