干式螺桿真空泵被明確歸為干式容積真空泵范疇，其**設計原則是 “無油清潔”—— 抽氣流道（泵腔、轉子間隙等）內不使用任何油類密封或潤滑液體，排氣口可直接與大氣連通實現連續排氣，徹底解決了傳統油封泵的油污染問題。作為非接觸型干式真空泵，轉子與泵腔、轉子間*保留 0.1-0.5mm 微小間隙，既避免機械摩擦，又減少氣體泄漏。其工作壓力覆蓋大氣壓至  ，適配含腐蝕性蒸氣（如半導體工業的氟化物氣體）、可凝性溶劑（如化工的乙醇蒸氣）及少量固體顆粒的工況，是真空技術向清潔化、精密化發展的關鍵設備之一。精細化工用其**反應釜真空度。浙江化工螺桿真空泵*企業/廠家

螺桿真空泵作為一種干式真空泵，其**工作部件由一對相互嚙合的螺桿轉子組成。在電機驅動下，兩根螺桿以相反方向高速旋轉，轉子與泵殼之間形成周期性變化的容積腔室。當氣體從進氣口進入腔室后，隨著螺桿的旋轉，容積腔室不斷縮小，氣體被逐漸壓縮，**終從排氣口排出，實現抽真空過程。與傳統油式真空泵相比，它比較大的優勢在于無油污染，避免了油蒸氣對被抽氣體和生產工藝的影響，尤其適用于半導體、食品醫藥等對潔凈度要求較高的行業。同時，其結構簡單緊湊，運行時振動小、噪音低，單級抽氣就能達到較高的真空度，在中高真空領域展現出穩定可靠的性能，大幅降低了后續真空系統的配置復雜度。浙江馬德寶螺桿真空泵維修配備 PiGauge 模塊實現智能測量。

雙螺桿轉子為**部件，型線多采用 “擺線 - 漸開線” 組合設計，通過高精度同步齒輪驅動，確保轉子轉速一致（3000-6000r/min）且無接觸；泵腔采用耐磨鑄鐵或不銹鋼材質，內壁經精密加工**粗糙度 Ra≤0.8μm，減少氣體流動阻力；密封系統分靜密封（氟橡膠 O 型圈，耐溫 - 20-200℃）和動密封（雙端面機械密封，配聚乙二醇輔助密封液），泄漏率可控制在以下。性能方面，該泵抽氣速率范圍為 10-1000m3/h，極限壓力可達10?3 Pa，能耗隨抽速線性增長（如 100m3/h抽速對應能耗約 15kW），噪音≤75dB。應用上，在半導體刻蝕工藝中可穩定處理 Cl?、F?氣體，在食品凍干中能**無菌環境，在化工溶劑回收中避免溶劑油污染。

馬德寶螺桿真空泵系列產品涵蓋 LG 系列（LG50 至 LG360）與 LGB 系列（LGB70 至 LGB400），抽速范圍 50-480 L/S（50/60Hz），極限壓力 1-50 Pa，配用功率 5.5-55 KW，冷卻水量 2.5-3.5 L/min，進氣口徑 50-100mm、排氣口徑 40-65mm，重量 295-680 kg，噪音 72-89 dB (A)。例如 LG100 型抽速 100/120 L/S，極限壓力 2/1 Pa，功率 11/15 KW；LGB200A 型抽速 200/240 L/S，極限壓力 0.02/0.01 mbar，適配多種對真空度與抽速有不同需求的場景。此外，機組可防腐處理，用于抽除腐蝕性氣體，在化工制藥的脫水結晶、電力的真空浸漬等工藝中表現**。3D NAND 制造需高抽速螺桿泵。

螺桿真空泵的涂層厚度控制對性能至關重要。涂層過薄（＜3μm）會導致防護不徹底，轉子基體易受腐蝕或磨損；涂層過厚（＞10μm）會增加轉子重量，增大電機負荷，且易產生內應力導致涂層剝落。因此，制備過程中需采用 “在線監控” 技術：磁控濺射法通過控制濺射功率（100-300W）和時間（30-60 分鐘）調節厚度，每 5 分鐘用膜厚儀（精度 0.1μm）測量一次；化學氣相沉積（CVD）法通過控制反應氣體流量（100-200sccm）和溫度（800-1000℃）調節厚度，每 10 分鐘取樣測量。此外，涂層厚度需均勻，同一轉子表面的厚度差≤1μm，避免局部過薄或過厚，確保整體性能一致。316L 不銹鋼材質提升耐腐蝕性能。上海螺桿真空泵維護保養

雙級結構螺桿泵抽氣速率更穩定。浙江化工螺桿真空泵*企業/廠家

半導體刻蝕工藝中產生的含氟氣體（如 CF?、SF?）會對螺桿真空泵造成嚴重腐蝕，需從材質、結構、后處理三方面構建防護體系。材質上，轉子采用哈氏合金 C276，該材質含鉬、鉻元素，對氟化物的耐腐蝕性能是 316L 不銹鋼的 8 倍；泵殼內壁噴涂聚四氟乙烯涂層，厚度控制在 0.2-0.3mm，避免氣體直接接觸金屬表面。結構上，采用 “干式密封 + 氮氣吹掃” 設計，在密封腔通入氮氣形成正壓屏障，防止含氟氣體滲入密封系統。后處理上，排氣口連接活性炭吸附塔，吸附未反應的氟化物，處理效率達 99.5%。浙江化工螺桿真空泵*企業/廠家

馬德寶真空設備集團有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在浙江省等地區的機械及行業設備行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為行業的**，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**馬德寶真空設備集團供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！

馬德寶真空設備集團有限公司成立于1992年，專業生產螺桿真空泵系列、羅茨真空泵系列、滑閥真空泵系列、水環式真空泵系列、往復真空泵系列及各種真空泵抽氣機組。經過三十年的努力，公司在人才、管理、產品研發、質量控制、市場開發等方面積累了相當大的優勢，產品廣泛應用于食品、制冷、制藥、化工、石油、冶煉、陶瓷、工藝品、電子、電器、航天、航空、真空鍍膜、真空熱處理、真空爐及其它科研等領域。
公司總占地面積100畝，廠房等建筑面積43000m，現在員工200余人，其中工程技術人員41人，總公司注冊資金5010萬元，下屬子公司:沈陽馬德堡真空設備制造有限公司，浙江摩泰螺桿真空泵有限公司，臺州市興華真空設備制造有限公司，浙江馬德堡壓縮機有限公司。
公司近年來新建廠房32000m，通過多次技術改造，配置日本、德國數控加工中心及一臺大型三坐標測量儀、一臺大型外圓磨床等其他加工設備共120多臺，精加工設有恒溫加工車間，設備水平在國內真空泵制造行業處于**，實現了數字化加工及數字化檢測。產品精度提高，產品質量在國內**業中處于**。