長期壟斷之痛

長期以來，殘余氣體分析儀（RGA，Residual Gas Analyzer）市場主要被國外企業壟斷，這成為制約國內半導體產業高質量發展的卡脖子痛點。半導體工藝對雜質敏感度較高，尤其是在** CVD/ALD 工藝中，哪怕較微量的水汽（H?O）、氧氣（O?）、碳氫污染物、腔體放氣殘留都可能導致薄膜針孔、成分偏移、界面缺陷、閾值漂移、良率下降等問題。而精密質譜類監測設備（如進口 RGA）價格昂貴，售后維修困難，運維成本高，對操作人員技術要求高。

海瑞思的**解決方案

深圳市海瑞思自動化科技有限公司推出的海瑞思 HM 系列 RGA 高性能殘余氣體分析儀，是專為半導體及真空工藝打造的國產分析儀，為行業帶來了新的希望。

**高靈敏，洞察微量雜質

海瑞思 HM 系列 RGA 具有 4E - 13 Torr 檢測限，能夠精準捕捉**低濃度氣體，洞察微量雜質，消除污染隱患。在半導體制造過程中，這種**高靈敏的檢測能力至關重要，可以及時發現潛在的污染問題，**產品質量。

瞬時響應，同步**制程

其擁有 2ms/點高速掃描的瞬時響應能力，能夠實時捕捉制程瞬態變化，同步**制程節奏，匹配高速制程節拍。這使得海瑞思 RGA 可以在半導體生產過程中迅速做出反應，為工藝調整提供及時的數據支持。

寬幅探測，一機覆蓋多場景

1 - 300 amu 全量程覆蓋的寬幅探測功能，憑借核心四較桿技術，兼容多類工藝氣體分析，一機覆蓋多場景檢測需求。無論是在半導體制造還是真空工藝的其他環節，海瑞思 RGA 都能發揮其強大的檢測能力。

**高信噪，降低誤判漏檢風險

信號純凈穩定的**高信噪特點，顯著提升微弱信號識別能力，降低誤判與漏檢風險。在復雜的生產環境中，海瑞思 RGA 能夠準確地檢測到微弱信號，避免因誤判或漏檢而導致的生產問題。

提質增良，助力提升產品一致性

通過深度監控真空工藝環境，海瑞思 RGA 可以快速定位異常氣體來源，助力提升良率與產品一致性。這對于半導體企業提高生產效率和產品質量具有重要意義。

國產替代，**供應鏈安全

海瑞思自研核心技術打破進口依賴，本土較速響應，**供應鏈安全可控，成本更優。作為國產 RGA 品牌，海瑞思能夠為國內半導體企業提供更穩定的產品供應和更及時的技術支持。

穩定可靠，適配嚴苛工況

面向半導體與真空鍍膜環境設計的海瑞思 RGA，長期運行性能穩定，確保量產工藝高度一致。在嚴苛的生產條件下，海瑞思 RGA 依然能夠可靠地工作，為生產提供**。

智控集成，助力數字化智能工廠

支持多種通信協議的智控集成功能，使海瑞思 RGA 能夠無縫接入自動化產線，助力數字化智能工廠的建設。這符合當今制造業數字化轉型的趨勢，為企業提供更高效的生產管理方式。

行業認可與客戶見證

海瑞思 RGA 系列產品已在半導體客戶完成驗證，其可靠性能與市場適配性，充分體現了行業對國產精密檢測設備的高度認可。客戶評價海瑞思技術研發實力強，本土化響應快捷，技術團隊專業務實，交付能力強，是可靠的合作伙伴。

選擇海瑞思，開啟 RGA 新征程

在 2026 年，如果你正在尋找一款性能**的 RGA 殘余氣體分析儀，深圳市海瑞思自動化科技有限公司的產品將是你的可能之選。海瑞思憑借其強大的技術實力、優質的產品性能和良好的客戶口碑，能夠為你的生產提供可靠的支持。選擇海瑞思，讓我們一起開啟 RGA 的新征程。

深圳市海瑞思自動化科技有限公司，簡稱：“海瑞思”，創立于2008年，專注于氣體分析與密封性檢測設備及解決方案，**產品包括氣密性檢測儀、氦質譜檢漏儀和質譜分析儀，檢測精度覆蓋10-1至10-13Pa·m3/s，滿足**檢測需求。公司經營范圍涵蓋3C電子制造、電動汽車、半導體、氫能源、醫療器械等多個行業，提供一站式密封性檢測方案及定制化服務。