結構和擴散泵工作原理
油擴散泵主要由泵體、擴散噴嘴、蒸氣導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻系統和噴射噴嘴等部分組成（見圖）。當油擴散泵用前級泵預抽到低于1帕真空時,油鍋可開始加熱。沸騰時噴嘴噴出高速的蒸氣流，熱運動的氣體分子擴散到蒸氣流中，與定向運動的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此而獲得動量，產生和油蒸氣分子運動方向相同的定向流動。到前級，油蒸氣被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達到抽氣目的
真空泵油的蒸氣壓力直接影響到泵的真空性能。但是油擴散泵所用的任何泵油，都是蒸氣壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還要對泵油進行分餾和凈化。分餾目的是使高蒸氣壓組分的油不進入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；凈化目的是使高蒸氣壓組分的油在工作過程中不斷為前級泵所抽除，使真空油逐漸趨于純凈。
泵油分餾主要是利用泵油各組分的蒸發溫度不同，使它們分別在不同的鍋爐面積上蒸發。當工作后冷凝回流的泵油流到有保溫罩部分的泵壁時，油即得到預加熱，隨即流到油鍋周邊,經鍋底環形加熱器加熱,輕餾分的油達到蒸發溫度便在外層蒸發而進入低真空工作噴嘴 ——靠近前級泵的噴嘴；未能蒸發的某些輕餾分油也是因為比重較其他餾分油小而浮到油面上。由于外層蒸氣導管的限制，這部分餾分蒸發后仍進入低真空工作噴嘴。重餾分的油在外層蒸氣導管中因未達到蒸發溫度而未蒸發，所以從外層由鍋底間的縫隙流到油鍋中心蒸發，進入高真空工作噴嘴。輕、重餾分的油蒸氣這樣分道供給低真空工作噴嘴和高真空工作噴嘴這一個過程叫做分餾。從噴射噴嘴噴出的油蒸氣在前級得不到充分的冷卻，蒸氣中的輕餾分即未能*冷凝而被前級泵抽除。這樣循環工作，泵油中的輕餾分就越來越少，重餾分的比例也就越來越大，泵油便逐漸趨于純凈。這一過程叫做凈化。泵油的分餾和凈化，對提高泵的極限真空有重要作用。
 擴散泵
在泵結構一定和無漏氣的前提下，油擴散泵的抽氣特性和極限真空主要是看泵油的性能。泵油種類很多，表為幾類主要泵油及其特性      擴散泵油被電爐加熱的時候，產生油蒸氣順著導流管經過傘形噴嘴向下面噴出。因為噴嘴外面有機械泵提供的真空（Pa）
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