形狀測量系統
飛速進步的高精度形狀和輪廓測量系統
產品樣本No.C15010
形狀和輪廓測量系統
CV-3200/4500 系列
1
通過與上下圓錐測針的組合，實現了上下兩面連續測量的
功能。
通過使用上下兩面連續的測量數據，能夠實現簡單地分析
以往難以測量的內螺紋的有效直徑等。
從數據處理部(FORMTRACEPAK) 可以*測力(5 檔)。不
需要調整配重的位置。
此外，傾斜狀態下也能按照*的測力進行跟蹤測量。
CV-4500 系列在 Z1 軸(檢測部) 上搭載高精度圓弧光柵尺。
直接讀取測針*的圓弧軌道減少由檢測機構產生的誤差，
以達到高精度和高分辨率。X 軸(驅動部) 也搭載線性光柵
尺，全行程實現高精度的測量。
X 軸(驅動部) : 80mm/s(MAX)
Z2 軸(立柱上下動) : 30mm/s(MAX)
大幅度提高驅動速度，
進一步降低總 測量時間。
指示精度 ———————————————————————
—————————
Z1 軸(檢測器) : ±(0.8+ ︱ 2H ︱ /100)μm H= 測量高度(mm)
X 軸(驅動部) : ±(0.8+0.01L)μm*1 L= 驅動長度(mm)
分辨率 ————————————————————————
—————————
Z1 軸(檢測器) : 0.02μm
X 軸(驅動部) : 0.05μm
*1 CV-4500S4/H4/W4 的規格。其他型號的規格請參照P13 的規格表。
(此項專利權在日本受理中)
CV-4500 系列使用專用校正規(標配附件)，通過改進使得
上下兩方向附帶從動件的上下圓錐測針能簡便易行地進行
校正。Z1 軸增益、對稱性、針尖半徑等繁瑣的校正工作一
次便可完成。
由于具備上下兩面連續測量功能，
使得上下兩面的測量簡單易行
搭載測力可變功能
較高水平的指示精度
高速移動提高測量效率
繁瑣的校正也可以上下兩面連續
一次性完成
向下測量
● CV-4500 使用專用校正規
測量方向
通過軟件切換實現上
下兩面的測量方向
有效直徑分析孔直徑分析
向上測量
傾斜狀態
測力
測力
Z2 軸
(立柱上下動)
球
(對稱性校正用)
針規
(針尖半徑/位置校正用)
量塊
(Z1 軸增益調整用) X 軸
(驅動部)
形狀和輪廓測量系統
CV-4500 系列
2
CV-4500
擴大測量范圍的同時減低對工件的干擾
新設計的直式測臂不僅能降低對工件的干擾還能擴大Z1
軸(檢測部) 測量范圍。
不需設置原點便可測量多個橫切面
由于Z2 軸(立柱上下動) 上搭載了ABS (**) 標尺，階差
測量和多個橫切面的反復測量時，不再需要繁瑣的原點設
定作業。
各種微動結構等可簡單實現定位
由于搭載了X 軸驅動傾斜結構、X
軸· Z2 軸各個微動結構，更能有效
測量傾斜面、小孔測量等。
控制盒實現*、簡單、高速操作
控制盒能實現高速移動狀態下的定位到測量。為提高高速
移動時的*性，控制盒配置有緊急停止開關和驅動速度
控制旋鈕。
高速移動中也能自動停止實現*測量
為提高高速移動時的*性，Z1 軸檢測器上搭載*裝置(碰
撞時自動停止功能)。測臂如果脫離裝卸部位或者錯位時，安
全裝置便會啟動自動停止功能。
通過將多種周邊裝置選件和CNC 形狀測量裝置組合使用，
從而實現了簡易型CNC 測量。
采用新型直式測臂檢測器出眾的操作性
簡易型CNC 功能
Z1 軸測量范圍提高10mm
50
mm
10
mm
?? CV-4100 (以前產品)
●檢測器的裝卸部
60
mm
19
mm
?? CV-4500
●安裝單切面測針SPH-71 時
新型控制盒
緊急停止開關
驅動速度
控制旋鈕
測臂為螺栓固定
測臂的裝卸部
檢測器的裝卸部
裝卸部
●可在該方向上觸動*報警裝置
新增加的上下兩面連續測量功能，增強了測力可
變功能，提高了測量效率，為您提供豐富的高精
度測量。
X 軸(驅動部)
傾斜角度刻度
Z2 軸
(立柱上下動)
手動微調
X 軸(驅動部)
手動微調
X 軸(驅動部)
傾斜桿
● ?1 軸旋轉工作臺 :
自動圓周形狀測量
● ?2 軸旋轉工作臺 :
圓柱體工件上的自動多段連續測量
測臂安裝為一鍵式裝卸 (此項專利權在日本受理中)
測臂安裝部采用了磁性連接件，實現了**更換。此外，
裝卸部內置*結構。
● CV-4100 (以前產品) ● CV-4500
所有檢測器和驅動裝置電纜位于主機內部，用于減少摩擦所帶來
的危險，以**機器高速、無干擾地運轉。
3
測臂為螺栓固定
擴大測量范圍的同時減低對工件的干擾
新設計的直式測臂不僅能降低對工件的干擾還能擴大Z1
軸(檢測器) 測量范圍。
測臂安裝為一鍵式裝卸 (此項專利權在日本受理中)
測臂安裝部采用了磁性連接件，實現了**更換。此外，
裝卸部內置了*結構。
高速移動中也能自動停止實現*測量
為提高高速移動時的*性，Z1 軸檢測器上搭載*裝置(碰
撞時自動停止功能)。測臂如果脫離裝卸部位或者錯位時，安
全裝置便會啟動自動停止功能。
CV-3200 系列在 Z1 軸(檢測部) 上搭載高精度圓弧光柵尺。
直接讀取測針*的圓弧軌道減少由檢測機構產生的誤差，
以達到高精度和高分辨率。X 軸(驅動部) 也搭載線性光柵
尺，全行程實現高精度的測量。
指示精度 ———————————————————————
—————————
Z1 軸(檢測器) : ±(1.6+ ?? 2H ??／ 100)μm H= 測量高度(mm)
X 軸(驅動部) : ±(0.8+0.01L)μm *1 L= 驅動長度(mm)
分辨率 ————————————————————————
—————————
Z1 軸(檢測器) : 0.04μm
X 軸(驅動部) : 0.05μm
*1 CV-3200S4/H4/W4 的規格。其他型號的規格請參照P13 的規格表。
采用新型直式測臂檢測器
較高水平的指示精度
Z1 軸測量范圍提高10mm
?? CV-3100 ( 以前產品) ?? CV-3200
?? CV-3100(以前產品) ?? CV-3200
?? 安裝單切面探針SPH-71 時
裝卸部
●可在該方向上觸動*報警裝置
CV-3200 系列使用專用校正規(標配附件)，使得Z1 軸增益、
對稱性、針尖半徑等繁瑣的校正工作一次便可完成。如使
用校正用臺(選件) 可進行測針向上方向的校正。
繁瑣的校正也可以一次性完成
?? CV-3200 使用專用校正規
50
mm
10
mm
●磁鐵裝卸
60
mm
19
mm
測臂的裝卸部
檢測器的裝卸部
所有檢測器和驅動裝置電纜位于主機內部，用于減少摩擦所帶來
的危險，以**機器高速、無干擾地運轉。
球 (對稱性校正用)
針規 (針尖半徑校正用)
量塊(Z1 軸增益調整用)
形狀和輪廓測量系統
CV-3200 系列
4
CV-3200
不需設置原點便可測量多個橫切面
由于Z2 軸(立柱上下動) 上搭載了ABS (**) 標尺，階差
測量和多個橫切面的反復測量時，不再需要繁瑣的原點設
定作業。
各種微動結構等可簡單實現定位
由于搭載了X 軸驅動傾斜結構、X 軸· Z2 軸各個微動
結構，更能有效測量傾斜面、小孔測量等。
通過將多種周邊裝置選件和CNC 形狀測量裝置組合使用，
從而實現了簡易型CNC 測量。
出眾的操作性
簡易型CNC 功能
實現了**高精度和高速移動，同時由于采用新型直
式測臂使高精度測量變得較為簡易
● ?1 軸旋轉工作臺 :
自動圓周形狀測量
● ?2 軸旋轉工作臺 :
圓柱體工件上的自動多段連續測量
高速移動提高測量效率
X 軸(驅動部) : 80mm/s(MAX)
Z2 軸(立柱上下動) : 30mm/s(MAX)
大幅度提高驅動速度，
進一步降低總 測量時間。
高速移動提高測量效率
Z2 軸
(立柱上下動)
X 軸
(驅動部)
控制盒實現*、簡單、高速操作
控制盒能實現高速移動狀態下的定位到測量。為提高高速
移動時的*性，控制盒配置有緊急停止開關和驅動速度
控制旋鈕。
新型控制盒
緊急停止開關
驅動速度
控制旋鈕
X 軸(驅動部)
傾斜角度刻度
Z2 軸
(立柱上下動)
手動微調
X 軸(驅動部)
手動微調
X 軸(驅動部)
傾斜桿
5
數據處理部 : FORMTRACEPAK
標配附件包含形狀輪廓測量機的控制、數據分析檢驗以及建立檢查成績單的數據處理部。
僅單次測量時有單獨模式、建立工件測量程序，對同一工
件進行多個測量時有學習模式，具備多用途的可選模式。
針對CV-4500 系列的上下兩面連續測量和測力可變等新功
能(詳細內容請參見P1)，提高了使用方便性。
此外，從測量到印刷報告書的一系列流程可以嵌入到工件
程序，從而實現高效的測量??分析??輸*書。甚至，
還有可以在任一時點顯示帶有圖片注釋的功能，以及嵌入
顯示工件設置等注意點的測量順序單的功能。
測量程序可以從彈出菜單中選擇， 能夠方便的進行調用。
搭載隨時都可閱覽的聯機幫助。按目錄和關鍵字搜索，還
配備了只需點擊一下就能顯示出菜單和窗口及幫助狀況保
存按鈕。
任何暫時不用的按鈕或顯示域可以出現也可以人為地將其
隱藏起來，以便使操作者依照方便與否自行規劃屏幕。
測量、分析、布局畫面都可以切換語言。
測量后也可使用其他語言建立報告。可滿足全世界用戶。
對應語言 : 日語、英語、德語、法語、意大利語、西班牙
語、波蘭語、匈牙利語、瑞典語、捷克語、韓語、
漢語(簡體字)、漢語(繁體字)，土耳其語、葡萄
牙語
*1 只能對應日語和英語。不需使用Excel 等其它程序，便可以統計計算粗糙度的參數和
輪廓分析結果。
測量控制
聯機幫助功能*1
多語種對應(15 種語言)
按鈕編輯功能
簡易統計指令
6
● 圓· 線自動識別功能
通過自動圓/ 線應用命令，數據中所有的圓和線可以被
自動計算，而無須多次按命令鍵來執行。
● 排除異常點功能
異常值刪除功能非常有用，比如，可以從數據中刪除異
常錯誤，并且可以為圓和線之間不宜確定的邊界區域設
定計算范圍。
● 計算結果的文本輸出(CSV、txt 格式)
計算結果可以文本形式輸出(CSV 或/ txt 格式)，幾何圖
形可以以點云數據形式輸出為文本文件或常用的CAD
文件(DXF、IGES 格式)，也可以生成用作輪廓比對用的
CAD 設計值數據。
● 提供諸多命令包括點命令(10 種)、線命令(6
種)、圓命令(6 種) 以涵蓋分析中的基本元素。
標準計算命令同以上基本元素相結合，可計算
角度，間距，距離、輪廓比對等的功能。
此種演示也可以根據用戶需要進行剪裁。例
如，計算命令可以被隱藏起來，以簡化測量環
境，讓用戶更好的關注應用程序中正在使用的
命令。
● 簡單間距計算功能
螺紋的間距、圓之間的間隔(圓心間距) 等多個同一形狀
的間距分析，只
需要操作鼠標指
定范圍便可簡單
地進行分析，能
有效提高分析效
率。
*矩形螺紋間距范圍的示例
● 標準配備輪廓比對功能
標準配備讓設計數據和測量數據坐標移動到較佳位置的較佳擬合功能。檢驗結果不**于可視化圖
像顯示，還可以顯示各坐標上的誤差量、誤差量展開。由于可以輸出文本文件格式，也可以用在向
加工機的反饋數據等。
輪廓檢驗結果示例輪廓檢驗結果數值輸出示例
輪廓分析功能
7
數據處理部 : FORMTRACEPAK
輪廓分析功能
數據組成
數據1 數據2
● 設計值生成功能
所需公稱輪廓數據可以從CAD 文件(DXF、IGES 格式) 中提取。
同樣，從該測量機器中得到的測量結果可以轉化成輪廓數據。已經被存儲為輪廓數據的工件測量數據(使用/ 測試前) 對
于使用／測試后機器磨損程度的檢測非常有用。
● 數據合成功能
鑒于測量物的外觀形狀不同，能夠把分拆到多個測量點
的數據合成一個完整輪廓進行分析。
● 計算指令的反復設定
同一形狀具有固定間距的情況下，通過放入一處分析后
*間距，便能夠實現整體一次性的分析。
● 測量點列的較佳擬合功能
讓測量點與預先登錄的參考數據與同一坐標系保持一
致。通過此功能，可以排除自動分析時的工件調整的誤
差所帶來的影響。
● 數據重疊指令
檢測出特征點，讓兩個數據重疊。
只需拖動鼠標便可自由地移動、重疊測量點列。
[1] 測量點 [2] 擬合數據參照文件 [3] 較佳擬合 [4] 標準坐標系 [5] 測量坐標系
重復
8
整體排版
可以通過簡單操作將表面粗糙度、輪廓形狀、圓度的測量結果、測量圖形等布局在一
個頁面。
已保存的文件可以進行*粘貼，很*實現對多個文件的較終結果的粘貼。
需要另行安裝圓度、圓筒形狀分析程序ROUNDPAK (對應版本請另行咨詢)。
● 要素信息欄
顯示已粘貼項目的屬性值。
可以簡單地確認已粘貼測量數據的內容。
● 系統布局印刷
只需選擇想打印的演算結果、測量條件、測量圖形等簡
單操作，便可自動排版和打印檢查成績表。還可對測量
圖形尺寸、測量結果、字體等詳細內容進行設置。能滿
足您便捷打印的需求。
● 要素插入欄
通過鼠標拖放顯示在要素插入欄上的分析內容，可將其
粘貼到排版頁面 上。另外，通過*文件還可以將分析
中的結果以及過去曾經保存過的結果排版在同一個頁面
上。
● 結果保存為WEB 頁面
由于可以保存為能在瀏覽器、MS-WORD 上顯示的
html、mhtml 格式，即使在沒有安裝排版編輯程序的
PC 上也能進行結果確認。
● 報告書生成功能
操作者可以自由排版測量結果、設置、圖表、注釋等內容來得出一份“測量結果報告”。位圖文件也可以插入到“測量
結果報告”中，像工件圖片和公司標識都可以很*的插入到報告中。還可以存儲其版面設計，以便在類似測量時再次
應用。完成的報告可以根據需要進行存儲或者打印。
9
自動化的選配
可實現自動測量排列的多個工件，以及從多處測量一個測量面。
圓周與輪廓形狀測量、Y 軸工作臺相組合，可自動調整圓柱形狀測量工件的平行，移動測量工件的軸向方向、旋轉方向實
現自動測量。[如想直接安裝在CV-3200/4500 主機工作臺上使用，需要另行選購?1 軸安裝板(選配 : **2AAE630)]
可實現自動測量圓柱形狀測量工件的多處、正反兩面。[如想直接安裝在CV-3200/4500 主機工作臺上使用，需要另行選購
?2 軸安裝板(選配 : **2AAE718)]
Y 軸工作臺 　No.178-097
旋轉工作臺 ?1 軸工作臺 　No.12AAD975
旋轉工作臺 ?2 軸組件 　No.178-078
移動范圍200mm
分辨率0.05μm
定位精度±3μm
驅動速度Max 80mm/s
較大載重50kg
重量28kg
移動范圍 360o
分辨率 0.004o
較大載重12kg
驅動速度 Max 10o/s
重量7kg
移動范圍 360o
分辨率 0.0072o
較大載重4kg
(瞬間在343N · cm 以下)
(載重體瞬間) Max 18o/s
重量5kg
調心**卡盤(滾花環固定)　No.211-032 微型**卡盤　No.211-031
測量小型物件時，采用操作性能出眾的滾花環很*達到
固定的目的。
采用它可以固定調心**卡盤不能有效固定的?1mm 以下
的微型直徑的工件。
固定范圍內爪的外徑?1 ～ ?36mm
外觀尺寸(D X H) 內爪的內徑?16 ～ ?69mm
重量外爪的外徑?25 ～ ?79mm
?118 X 41mm
1.2kg
固定范圍外徑?0.1 ～ ?1.5mm
外觀尺寸(D X H) ?.5mm
重量0.6kg
10
選配
在測量圓柱狀工件時，為提高測量精度，同時平行調整工件的母
線軸和測量軸，以及調整水平方向都是必不可少的。如果使用3
軸調整工作臺，遵循FORMTRACEPAK 導向便可通過簡單操作實
現調適和水平調整。不需要經驗和感覺。
3 軸調整工作臺 　No.178-047
調適充分調適不充分
母線軸
測量結束點
母線軸
測量結束點
測量起點
測量起點
測量圖形
雙扭式旋轉鉗臺
218-003
V 組件臺
998291
老虎鉗
178-019
十字移動工作臺
218-001
十字移動工作臺
218-041
V 組件臺
172-234
V 組件臺
172-378
夾具裝置
176-107
傾斜中心臺
172-197
兩中心提升器
172-143
兩中心臺
172-142
帶十字移動的載物臺
(游標型)
178-043-1
帶十字移動的載物臺
(數顯型)
178-042-1
傾斜載物臺
178-016
傾斜載物臺(DAT 用)
178-048
校正用臺*2
12AAG175
校正用臺*1
12AAM100
校正用臺*3
12AAM309
其他
使用3 軸調整工作臺時的FORMTRACEPAK 導向畫面
*1 : CV-3200 系列向上測量校正時需要。
*2 : 不使用十字移動工作臺、Y 軸工作臺，安裝直臂/ 小孔臂進行一次性綜合校正時需要。
*3 : 不使用十字移動工作臺、Y 軸工作臺，安裝直臂/ 偏心臂/ 小孔臂進行一次性綜合校正時需要。
11
防振臺架
●配置防振臺(No.178-023,
　No.178-025) 專用架臺
外觀尺寸(W×D×H) :
　　640×470×660mm
重量 : 25kg
No.178-024
防振臺*1 (泵供給式)
No.178-023
防振臺*1 (空氣供給式)
No.178-025
防振臺*1
(架臺一體式、空氣供給式)
No.12AAK110
監控臂*2
No.12AAK120
側面工作臺*2
No.12AAL019
*1 : 用在商品符號末尾為S4、S8、H4、H8。末尾W4、W8 (大型規格) 所使用型號請另行咨詢。
*2 : 與防振臺(No.12AAK110) 共用。
*3 : 打印機用支架請另行購買。
*1 : 用在商品符號末尾為S4、S8、H4、H8。
末尾W4、W8 (大型規格) 所使用型號請另行咨詢。
組合示例 : 沒有監控臂、有側面工作臺
(不含主機及PC)
組合示例 : 有監控臂、沒有側面工作臺
(不含主機及PC)
防振臺
防振臺
測臂
●測臂應用列表
測臂名稱 符號 貨號適用測針
直式測臂AB-31*1 12AAM101 SPH-5*, 6*, 7*, 8*, 9*SPHW*2-56, 66, 76
偏心式測臂AB-32 12AAM102 SPH-5*, 6*, 7*, 8*, 9*、SPHW*2-56, 66, 76
小孔測臂AB-33 12AAM103 SPH-41, 42, 43
*1 : 標準配件。
*2 : CV-4500 系列用測臂。
*3 : 安裝單切面測針SPH-71 (標配附件) 時。
防振臺
??直式測臂 AB-31 ??偏心式測臂 AB-32 ??小孔測臂 AB-33
??8 57.5
20
218??3
??8
40
57.5
20
??8
218
57.5
20
218??3
防振臺
監控臂
側面工作臺防振臺
12
測針
測針名稱符號貨號適用測臂編號H(mm)
兩側圓錐*1
測針
SPHW-56 12AAM095*2 AB-31, AB-32 20
SPHW-66 12AAM096 AB-31, AB-32 32
SPHW-76 12AAM097 AB-31, AB-32 48
單切面測針
SPH-51 354882 AB-31, AB-32 6
SPH-61 354883 AB-31, AB-32 12
SPH-71 354884 *2*3 AB-31, AB-32 20
SPH-81 354885 AB-31, AB-32 30
SPH-91 354886 AB-31, AB-32 42
交叉切面測針
SPH-52 354887 AB-31, AB-32 6
SPH-62 354888 AB-31, AB-32 12
SPH-72 354889 AB-31, AB-32 20
SPH-82 354890 AB-31, AB-32 30
SPH-92 354891 AB-31, AB-32 42
圓錐測針
針尖角度30o
材質: 藍寶石
SPH-53 354892 AB-31, AB-32 6
SPH-63 354893 AB-31, AB-32 12
SPH-73 354894 AB-31, AB-32 20
SPH-83 354895 AB-31, AB-32 30
SPH-93 354896 AB-31, AB-32 42
圓錐測針
針尖角度30o
材質: 超硬合金
SPH-56 12AAA566 AB-31, AB-32 6
SPH-66 12AAA567 AB-31, AB-32 12
SPH-76 12AAA568 AB-31, AB-32 20
SPH-86 12AAA569 AB-31, AB-32 30
SPH-96 12AAA570 AB-31, AB-32 42
圓錐測針
針尖角度20o
材質: 超硬合金
SPH-57 12AAE865 AB-31, AB-32 6
SPH-67 12AAE866 AB-31, AB-32 12
SPH-77 12AAE867 AB-31, AB-32 20
SPH-87 12AAE868 AB-31, AB-32 30
SPH-97 12AAE869 AB-31, AB-32 42
圓錐測針
針尖角度50o
材質: 金剛石
SPH-79 355129 AB-31, AB-32 20
刀刃測針
SPH-54 354897 AB-31, AB-32 6
SPH-64 354898 AB-31, AB-32 12
SPH-74 354899 AB-31, AB-32 20
SPH-84 354900 AB-31, AB-32 30
SPH-94 354901 AB-31, AB-32 42
球形測針
SPH-55 354902 AB-31, AB-32 6
SPH-65 354903 AB-31, AB-32 12
SPH-75 354904 AB-31, AB-32 20
SPH-85 354905 AB-31, AB-32 30
SPH-95 354906 AB-31, AB-32 42
小孔測針*4
SPH-41 12AAM104 AB-33 2
SPH-42 12AAM105 AB-33 4
SPH-43 12AAM106 AB-33 6.5
*1 : SV-C4500 系列用測針。
*2 : SV-C4500 系列用標準配件。
*3 : SV-C3200 系列用標準配件。
*4 : SV-C3100/4100 系列用測針不可使用SPH-21、22、23。
??測針應用列表
針尖角度 : 20??
針尖寬度 : 3mm
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
H
??3
??單切片測針
針尖角度 : 12??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
??3
H
??交叉切面測針
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
H
??3
??刀刃測針
H
??3
??球形測針
針尖球直徑 : 1mm
針尖材質 : 超硬合金
??3
H
??圓錐測針
針尖角度 : 30??(只有SPH-79為50??)
針尖半徑 : 25μm
針尖材質：藍寶石·超硬合金
????僅SPH-79為鉆石??
H
??3
??圓錐測針
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
55 ??1.6
??4.8
H
??小孔測針??SPH-41
針尖形狀 : 單切面
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
0.4
??3
H
1
??小孔測針 SPH-42
針尖形狀 : 單切面
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
55
??5
??小孔測針 SPH-43
針尖形狀 : 單切面
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
??4
H
2.5
55
??兩側圓錐測針
針尖角度 : 30??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
H
??3
??兩側小孔測臂測針SPHW-31 ??兩側小孔測臂測針 SPHW-32 ??兩側小孔測臂測針 SPHW-33
針尖形狀 : 圓錐
針尖角度 : 30??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
針尖形狀 : 圓錐
針尖角度 : 30??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
針尖形狀 : 圓錐
針尖角度 : 30??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質 : 超硬合金
??4
??1.6
??8
275
20
??5
??3
??8
275
20
??4
??8
275
20
H
針尖放大圖
H
針尖放大圖
H
針尖放大圖
??測臂測針(測臂與測針一體型)
測針名稱符號符號H(mm)
兩側小孔測針*5
SPHW-31 12AAM108 2.4
SPHW-32 12AAM109 5
SPHW-33 12AAM110 9
*5 : SV-C4500 系列所用的測臂測針。
13
規格
型號
CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8
CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8
測量范圍
X 軸100mm 200mm
Z1 軸(檢測部) 60mm (水平位置±30mm)
Z2 軸(立柱) 移動量300mm 500mm 300mm 500mm
檢測器
(Z1 軸 : 檢測器)
測量單元圓弧光柵尺
分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm
測針上/ 下運作弧形移動
移動方向向前/ 向后 雙方向
測針方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(單獨測量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可連續測量)
測力CV-3200 系列 : 30mN (根據配重調整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根據軟件轉換)
跟蹤角度向上77o、向下83o(根據表面粗糙度*1 使用標準單切面測針)
驅動部
標尺
X 軸 激光全息光柵尺
Z2 軸(立柱) ABS 光柵尺
分辨率
X 軸 0.05 μm
Z2 軸(立柱) 1 μm
驅動速度
X 軸0 ～ 80mm/s 外加手動
Z2 軸(立柱) 0 ～ 30mm/s 外加手動
測量速度X 軸 0.02 ～ 5mm/s
直線度*2 X 軸 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm
傾角范圍X 軸 ±45o
指示精度
(20oC)
CV-3200
系列
X 軸
　±(0.8+0.01L)μm　L 驅動長度(mm)
寬范圍 : 1.8 μm/100mm
窄范圍 : 1.05 μm/25mm
　±(0.8+0.02L)μm　L 驅動長度(mm)
寬范圍 : 4.8 μm/200mm
窄范圍 : 1.3 μm/25mm　
Z1 軸(檢測部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm　 H= 為水平位置上的測量高度(mm)
CV-4500
系列
X 軸
　±(0.8=0.01L)μm　L 驅動長度(mm)
寬范圍 : 1.8 μm/100mm
窄范圍 : 1.05 μm/25mm
　±(0.8=0.02L)μm　L 驅動長度(mm)
寬范圍 : 4.8 μm/200mm
窄范圍 : 1.3 μm/25mm　
Z1 軸(檢測部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm　 H= 為水平位置上的測量高度(mm)
外觀尺寸
(W×D×H)
主機*3 756×482
×966 mm
756×482
×1166 mm
1156×482
×1176 mm
766×482
×966 mm
766×482
×1166 mm
1166×482
×1176 mm
遙控箱221×344×490 mm
遙控箱 248×102×62.2 mm
重量
主機140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg
遙控箱14kg
遙控箱 0.9kg
使用溫度范圍15 ～ 25oC (校正時和測量時的溫度變化在±1o)
使用濕度范圍20 ～ 80%RH (無凝結狀態)
保存溫度范圍-10 ～ 50oC
保存濕度范圍5 ～ 90%RH (無凝結狀態)
*1 : SPH-71(No.354884)
*2 : X 軸水平位置時
*3 : 主機材料為花崗巖
14
外觀
110
(?? ) 內尺寸為H4規格表示。
??????內尺寸為W4規格表示。
CV-3200系列監測器，標配測力調整用軟件。
測量區域
T型槽
(?? ) 內尺寸為H8規格表示。
??????內尺寸為W8規格表示。
CV-3200系列監測器，標配測力調整用軟件。
測量區域
??CV-3200S4/H4/W4, CV-4500S4/H4/W4
??CV-3200S8/H8/W8, CV-4500S8/H8/W8
單位 : mm
T型槽尺寸
全型號通用

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