形狀測量系統(tǒng)
飛速進(jìn)步的高精度形狀和輪廓測量系統(tǒng)
產(chǎn)品樣本No.C15010
形狀和輪廓測量系統(tǒng)
CV-3200/4500 系列
1
通過與上下圓錐測針的組合,實(shí)現(xiàn)了上下兩面連續(xù)測量的
功能。
通過使用上下兩面連續(xù)的測量數(shù)據(jù),能夠?qū)崿F(xiàn)簡單地分析
以往難以測量的內(nèi)螺紋的有效直徑等。
從數(shù)據(jù)處理部(FORMTRACEPAK) 可以*測力(5 檔)。不
需要調(diào)整配重的位置。
此外,傾斜狀態(tài)下也能按照*的測力進(jìn)行跟蹤測量。
CV-4500 系列在 Z1 軸(檢測部) 上搭載高精度圓弧光柵尺。
直接讀取測針*的圓弧軌道減少由檢測機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的誤差,
以達(dá)到高精度和高分辨率。X 軸(驅(qū)動部) 也搭載線性光柵
尺,全行程實(shí)現(xiàn)高精度的測量。
X 軸(驅(qū)動部) : 80mm/s(MAX)
Z2 軸(立柱上下動) : 30mm/s(MAX)
大幅度提高驅(qū)動速度,
進(jìn)一步降低總 測量時(shí)間。
指示精度 ———————————————————————
—————————
Z1 軸(檢測器) : ±(0.8+ ︱ 2H ︱ /100)μm H= 測量高度(mm)
X 軸(驅(qū)動部) : ±(0.8+0.01L)μm*1 L= 驅(qū)動長度(mm)
分辨率 ————————————————————————
—————————
Z1 軸(檢測器) : 0.02μm
X 軸(驅(qū)動部) : 0.05μm
*1 CV-4500S4/H4/W4 的規(guī)格。其他型號的規(guī)格請參照P13 的規(guī)格表。
(此項(xiàng)專利權(quán)在日本受理中)
CV-4500 系列使用專用校正規(guī)(標(biāo)配附件),通過改進(jìn)使得
上下兩方向附帶從動件的上下圓錐測針能簡便易行地進(jìn)行
校正。Z1 軸增益、對稱性、針尖半徑等繁瑣的校正工作一
次便可完成。
由于具備上下兩面連續(xù)測量功能,
使得上下兩面的測量簡單易行
搭載測力可變功能
較高水平的指示精度
高速移動提高測量效率
繁瑣的校正也可以上下兩面連續(xù)
一次性完成
向下測量
● CV-4500 使用專用校正規(guī)
測量方向
通過軟件切換實(shí)現(xiàn)上
下兩面的測量方向
有效直徑分析孔直徑分析
向上測量
傾斜狀態(tài)
測力
測力
Z2 軸
(立柱上下動)
球
(對稱性校正用)
針規(guī)
(針尖半徑/位置校正用)
量塊
(Z1 軸增益調(diào)整用) X 軸
(驅(qū)動部)
形狀和輪廓測量系統(tǒng)
CV-4500 系列
2
CV-4500
擴(kuò)大測量范圍的同時(shí)減低對工件的干擾
新設(shè)計(jì)的直式測臂不僅能降低對工件的干擾還能擴(kuò)大Z1
軸(檢測部) 測量范圍。
不需設(shè)置原點(diǎn)便可測量多個(gè)橫切面
由于Z2 軸(立柱上下動) 上搭載了ABS (**) 標(biāo)尺,階差
測量和多個(gè)橫切面的反復(fù)測量時(shí),不再需要繁瑣的原點(diǎn)設(shè)
定作業(yè)。
各種微動結(jié)構(gòu)等可簡單實(shí)現(xiàn)定位
由于搭載了X 軸驅(qū)動傾斜結(jié)構(gòu)、X
軸· Z2 軸各個(gè)微動結(jié)構(gòu),更能有效
測量傾斜面、小孔測量等。
控制盒實(shí)現(xiàn)*、簡單、高速操作
控制盒能實(shí)現(xiàn)高速移動狀態(tài)下的定位到測量。為提高高速
移動時(shí)的*性,控制盒配置有緊急停止開關(guān)和驅(qū)動速度
控制旋鈕。
高速移動中也能自動停止實(shí)現(xiàn)*測量
為提高高速移動時(shí)的*性,Z1 軸檢測器上搭載*裝置(碰
撞時(shí)自動停止功能)。測臂如果脫離裝卸部位或者錯(cuò)位時(shí),安
全裝置便會啟動自動停止功能。
通過將多種周邊裝置選件和CNC 形狀測量裝置組合使用,
從而實(shí)現(xiàn)了簡易型CNC 測量。
采用新型直式測臂檢測器出眾的操作性
簡易型CNC 功能
Z1 軸測量范圍提高10mm
50
mm
10
mm
?? CV-4100 (以前產(chǎn)品)
●檢測器的裝卸部
60
mm
19
mm
?? CV-4500
●安裝單切面測針SPH-71 時(shí)
新型控制盒
緊急停止開關(guān)
驅(qū)動速度
控制旋鈕
測臂為螺栓固定
測臂的裝卸部
檢測器的裝卸部
裝卸部
●可在該方向上觸動*報(bào)警裝置
新增加的上下兩面連續(xù)測量功能,增強(qiáng)了測力可
變功能,提高了測量效率,為您提供豐富的高精
度測量。
X 軸(驅(qū)動部)
傾斜角度刻度
Z2 軸
(立柱上下動)
手動微調(diào)
X 軸(驅(qū)動部)
手動微調(diào)
X 軸(驅(qū)動部)
傾斜桿
● ?1 軸旋轉(zhuǎn)工作臺 :
自動圓周形狀測量
● ?2 軸旋轉(zhuǎn)工作臺 :
圓柱體工件上的自動多段連續(xù)測量
測臂安裝為一鍵式裝卸 (此項(xiàng)專利權(quán)在日本受理中)
測臂安裝部采用了磁性連接件,實(shí)現(xiàn)了**更換。此外,
裝卸部內(nèi)置*結(jié)構(gòu)。
● CV-4100 (以前產(chǎn)品) ● CV-4500
所有檢測器和驅(qū)動裝置電纜位于主機(jī)內(nèi)部,用于減少摩擦所帶來
的危險(xiǎn),以**機(jī)器高速、無干擾地運(yùn)轉(zhuǎn)。
3
測臂為螺栓固定
擴(kuò)大測量范圍的同時(shí)減低對工件的干擾
新設(shè)計(jì)的直式測臂不僅能降低對工件的干擾還能擴(kuò)大Z1
軸(檢測器) 測量范圍。
測臂安裝為一鍵式裝卸 (此項(xiàng)專利權(quán)在日本受理中)
測臂安裝部采用了磁性連接件,實(shí)現(xiàn)了**更換。此外,
裝卸部內(nèi)置了*結(jié)構(gòu)。
高速移動中也能自動停止實(shí)現(xiàn)*測量
為提高高速移動時(shí)的*性,Z1 軸檢測器上搭載*裝置(碰
撞時(shí)自動停止功能)。測臂如果脫離裝卸部位或者錯(cuò)位時(shí),安
全裝置便會啟動自動停止功能。
CV-3200 系列在 Z1 軸(檢測部) 上搭載高精度圓弧光柵尺。
直接讀取測針*的圓弧軌道減少由檢測機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的誤差,
以達(dá)到高精度和高分辨率。X 軸(驅(qū)動部) 也搭載線性光柵
尺,全行程實(shí)現(xiàn)高精度的測量。
指示精度 ———————————————————————
—————————
Z1 軸(檢測器) : ±(1.6+ ?? 2H ??/ 100)μm H= 測量高度(mm)
X 軸(驅(qū)動部) : ±(0.8+0.01L)μm *1 L= 驅(qū)動長度(mm)
分辨率 ————————————————————————
—————————
Z1 軸(檢測器) : 0.04μm
X 軸(驅(qū)動部) : 0.05μm
*1 CV-3200S4/H4/W4 的規(guī)格。其他型號的規(guī)格請參照P13 的規(guī)格表。
采用新型直式測臂檢測器
較高水平的指示精度
Z1 軸測量范圍提高10mm
?? CV-3100 ( 以前產(chǎn)品) ?? CV-3200
?? CV-3100(以前產(chǎn)品) ?? CV-3200
?? 安裝單切面探針SPH-71 時(shí)
裝卸部
●可在該方向上觸動*報(bào)警裝置
CV-3200 系列使用專用校正規(guī)(標(biāo)配附件),使得Z1 軸增益、
對稱性、針尖半徑等繁瑣的校正工作一次便可完成。如使
用校正用臺(選件) 可進(jìn)行測針向上方向的校正。
繁瑣的校正也可以一次性完成
?? CV-3200 使用專用校正規(guī)
50
mm
10
mm
●磁鐵裝卸
60
mm
19
mm
測臂的裝卸部
檢測器的裝卸部
所有檢測器和驅(qū)動裝置電纜位于主機(jī)內(nèi)部,用于減少摩擦所帶來
的危險(xiǎn),以**機(jī)器高速、無干擾地運(yùn)轉(zhuǎn)。
球 (對稱性校正用)
針規(guī) (針尖半徑校正用)
量塊(Z1 軸增益調(diào)整用)
形狀和輪廓測量系統(tǒng)
CV-3200 系列
4
CV-3200
不需設(shè)置原點(diǎn)便可測量多個(gè)橫切面
由于Z2 軸(立柱上下動) 上搭載了ABS (**) 標(biāo)尺,階差
測量和多個(gè)橫切面的反復(fù)測量時(shí),不再需要繁瑣的原點(diǎn)設(shè)
定作業(yè)。
各種微動結(jié)構(gòu)等可簡單實(shí)現(xiàn)定位
由于搭載了X 軸驅(qū)動傾斜結(jié)構(gòu)、X 軸· Z2 軸各個(gè)微動
結(jié)構(gòu),更能有效測量傾斜面、小孔測量等。
通過將多種周邊裝置選件和CNC 形狀測量裝置組合使用,
從而實(shí)現(xiàn)了簡易型CNC 測量。
出眾的操作性
簡易型CNC 功能
實(shí)現(xiàn)了**高精度和高速移動,同時(shí)由于采用新型直
式測臂使高精度測量變得較為簡易
● ?1 軸旋轉(zhuǎn)工作臺 :
自動圓周形狀測量
● ?2 軸旋轉(zhuǎn)工作臺 :
圓柱體工件上的自動多段連續(xù)測量
高速移動提高測量效率
X 軸(驅(qū)動部) : 80mm/s(MAX)
Z2 軸(立柱上下動) : 30mm/s(MAX)
大幅度提高驅(qū)動速度,
進(jìn)一步降低總 測量時(shí)間。
高速移動提高測量效率
Z2 軸
(立柱上下動)
X 軸
(驅(qū)動部)
控制盒實(shí)現(xiàn)*、簡單、高速操作
控制盒能實(shí)現(xiàn)高速移動狀態(tài)下的定位到測量。為提高高速
移動時(shí)的*性,控制盒配置有緊急停止開關(guān)和驅(qū)動速度
控制旋鈕。
新型控制盒
緊急停止開關(guān)
驅(qū)動速度
控制旋鈕
X 軸(驅(qū)動部)
傾斜角度刻度
Z2 軸
(立柱上下動)
手動微調(diào)
X 軸(驅(qū)動部)
手動微調(diào)
X 軸(驅(qū)動部)
傾斜桿
5
數(shù)據(jù)處理部 : FORMTRACEPAK
標(biāo)配附件包含形狀輪廓測量機(jī)的控制、數(shù)據(jù)分析檢驗(yàn)以及建立檢查成績單的數(shù)據(jù)處理部。
僅單次測量時(shí)有單獨(dú)模式、建立工件測量程序,對同一工
件進(jìn)行多個(gè)測量時(shí)有學(xué)習(xí)模式,具備多用途的可選模式。
針對CV-4500 系列的上下兩面連續(xù)測量和測力可變等新功
能(詳細(xì)內(nèi)容請參見P1),提高了使用方便性。
此外,從測量到印刷報(bào)告書的一系列流程可以嵌入到工件
程序,從而實(shí)現(xiàn)高效的測量??分析??輸*書。甚至,
還有可以在任一時(shí)點(diǎn)顯示帶有圖片注釋的功能,以及嵌入
顯示工件設(shè)置等注意點(diǎn)的測量順序單的功能。
測量程序可以從彈出菜單中選擇, 能夠方便的進(jìn)行調(diào)用。
搭載隨時(shí)都可閱覽的聯(lián)機(jī)幫助。按目錄和關(guān)鍵字搜索,還
配備了只需點(diǎn)擊一下就能顯示出菜單和窗口及幫助狀況保
存按鈕。
任何暫時(shí)不用的按鈕或顯示域可以出現(xiàn)也可以人為地將其
隱藏起來,以便使操作者依照方便與否自行規(guī)劃屏幕。
測量、分析、布局畫面都可以切換語言。
測量后也可使用其他語言建立報(bào)告??蓾M足全世界用戶。
對應(yīng)語言 : 日語、英語、德語、法語、意大利語、西班牙
語、波蘭語、匈牙利語、瑞典語、捷克語、韓語、
漢語(簡體字)、漢語(繁體字),土耳其語、葡萄
牙語
*1 只能對應(yīng)日語和英語。不需使用Excel 等其它程序,便可以統(tǒng)計(jì)計(jì)算粗糙度的參數(shù)和
輪廓分析結(jié)果。
測量控制
聯(lián)機(jī)幫助功能*1
多語種對應(yīng)(15 種語言)
按鈕編輯功能
簡易統(tǒng)計(jì)指令
6
● 圓· 線自動識別功能
通過自動圓/ 線應(yīng)用命令,數(shù)據(jù)中所有的圓和線可以被
自動計(jì)算,而無須多次按命令鍵來執(zhí)行。
● 排除異常點(diǎn)功能
異常值刪除功能非常有用,比如,可以從數(shù)據(jù)中刪除異
常錯(cuò)誤,并且可以為圓和線之間不宜確定的邊界區(qū)域設(shè)
定計(jì)算范圍。
● 計(jì)算結(jié)果的文本輸出(CSV、txt 格式)
計(jì)算結(jié)果可以文本形式輸出(CSV 或/ txt 格式),幾何圖
形可以以點(diǎn)云數(shù)據(jù)形式輸出為文本文件或常用的CAD
文件(DXF、IGES 格式),也可以生成用作輪廓比對用的
CAD 設(shè)計(jì)值數(shù)據(jù)。
● 提供諸多命令包括點(diǎn)命令(10 種)、線命令(6
種)、圓命令(6 種) 以涵蓋分析中的基本元素。
標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算命令同以上基本元素相結(jié)合,可計(jì)算
角度,間距,距離、輪廓比對等的功能。
此種演示也可以根據(jù)用戶需要進(jìn)行剪裁。例
如,計(jì)算命令可以被隱藏起來,以簡化測量環(huán)
境,讓用戶更好的關(guān)注應(yīng)用程序中正在使用的
命令。
● 簡單間距計(jì)算功能
螺紋的間距、圓之間的間隔(圓心間距) 等多個(gè)同一形狀
的間距分析,只
需要操作鼠標(biāo)指
定范圍便可簡單
地進(jìn)行分析,能
有效提高分析效
率。
*矩形螺紋間距范圍的示例
● 標(biāo)準(zhǔn)配備輪廓比對功能
標(biāo)準(zhǔn)配備讓設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和測量數(shù)據(jù)坐標(biāo)移動到較佳位置的較佳擬合功能。檢驗(yàn)結(jié)果不**于可視化圖
像顯示,還可以顯示各坐標(biāo)上的誤差量、誤差量展開。由于可以輸出文本文件格式,也可以用在向
加工機(jī)的反饋數(shù)據(jù)等。
輪廓檢驗(yàn)結(jié)果示例輪廓檢驗(yàn)結(jié)果數(shù)值輸出示例
輪廓分析功能
7
數(shù)據(jù)處理部 : FORMTRACEPAK
輪廓分析功能
數(shù)據(jù)組成
數(shù)據(jù)1 數(shù)據(jù)2
● 設(shè)計(jì)值生成功能
所需公稱輪廓數(shù)據(jù)可以從CAD 文件(DXF、IGES 格式) 中提取。
同樣,從該測量機(jī)器中得到的測量結(jié)果可以轉(zhuǎn)化成輪廓數(shù)據(jù)。已經(jīng)被存儲為輪廓數(shù)據(jù)的工件測量數(shù)據(jù)(使用/ 測試前) 對
于使用/測試后機(jī)器磨損程度的檢測非常有用。
● 數(shù)據(jù)合成功能
鑒于測量物的外觀形狀不同,能夠把分拆到多個(gè)測量點(diǎn)
的數(shù)據(jù)合成一個(gè)完整輪廓進(jìn)行分析。
● 計(jì)算指令的反復(fù)設(shè)定
同一形狀具有固定間距的情況下,通過放入一處分析后
*間距,便能夠?qū)崿F(xiàn)整體一次性的分析。
● 測量點(diǎn)列的較佳擬合功能
讓測量點(diǎn)與預(yù)先登錄的參考數(shù)據(jù)與同一坐標(biāo)系保持一
致。通過此功能,可以排除自動分析時(shí)的工件調(diào)整的誤
差所帶來的影響。
● 數(shù)據(jù)重疊指令
檢測出特征點(diǎn),讓兩個(gè)數(shù)據(jù)重疊。
只需拖動鼠標(biāo)便可自由地移動、重疊測量點(diǎn)列。
[1] 測量點(diǎn) [2] 擬合數(shù)據(jù)參照文件 [3] 較佳擬合 [4] 標(biāo)準(zhǔn)坐標(biāo)系 [5] 測量坐標(biāo)系
重復(fù)
8
整體排版
可以通過簡單操作將表面粗糙度、輪廓形狀、圓度的測量結(jié)果、測量圖形等布局在一
個(gè)頁面。
已保存的文件可以進(jìn)行*粘貼,很*實(shí)現(xiàn)對多個(gè)文件的較終結(jié)果的粘貼。
需要另行安裝圓度、圓筒形狀分析程序ROUNDPAK (對應(yīng)版本請另行咨詢)。
● 要素信息欄
顯示已粘貼項(xiàng)目的屬性值。
可以簡單地確認(rèn)已粘貼測量數(shù)據(jù)的內(nèi)容。
● 系統(tǒng)布局印刷
只需選擇想打印的演算結(jié)果、測量條件、測量圖形等簡
單操作,便可自動排版和打印檢查成績表。還可對測量
圖形尺寸、測量結(jié)果、字體等詳細(xì)內(nèi)容進(jìn)行設(shè)置。能滿
足您便捷打印的需求。
● 要素插入欄
通過鼠標(biāo)拖放顯示在要素插入欄上的分析內(nèi)容,可將其
粘貼到排版頁面 上。另外,通過*文件還可以將分析
中的結(jié)果以及過去曾經(jīng)保存過的結(jié)果排版在同一個(gè)頁面
上。
● 結(jié)果保存為WEB 頁面
由于可以保存為能在瀏覽器、MS-WORD 上顯示的
html、mhtml 格式,即使在沒有安裝排版編輯程序的
PC 上也能進(jìn)行結(jié)果確認(rèn)。
● 報(bào)告書生成功能
操作者可以自由排版測量結(jié)果、設(shè)置、圖表、注釋等內(nèi)容來得出一份“測量結(jié)果報(bào)告”。位圖文件也可以插入到“測量
結(jié)果報(bào)告”中,像工件圖片和公司標(biāo)識都可以很*的插入到報(bào)告中。還可以存儲其版面設(shè)計(jì),以便在類似測量時(shí)再次
應(yīng)用。完成的報(bào)告可以根據(jù)需要進(jìn)行存儲或者打印。
9
自動化的選配
可實(shí)現(xiàn)自動測量排列的多個(gè)工件,以及從多處測量一個(gè)測量面。
圓周與輪廓形狀測量、Y 軸工作臺相組合,可自動調(diào)整圓柱形狀測量工件的平行,移動測量工件的軸向方向、旋轉(zhuǎn)方向?qū)?
現(xiàn)自動測量。[如想直接安裝在CV-3200/4500 主機(jī)工作臺上使用,需要另行選購?1 軸安裝板(選配 : **2AAE630)]
可實(shí)現(xiàn)自動測量圓柱形狀測量工件的多處、正反兩面。[如想直接安裝在CV-3200/4500 主機(jī)工作臺上使用,需要另行選購
?2 軸安裝板(選配 : **2AAE718)]
Y 軸工作臺 No.178-097
旋轉(zhuǎn)工作臺 ?1 軸工作臺 No.12AAD975
旋轉(zhuǎn)工作臺 ?2 軸組件 No.178-078
移動范圍200mm
分辨率0.05μm
定位精度±3μm
驅(qū)動速度Max 80mm/s
較大載重50kg
重量28kg
移動范圍 360o
分辨率 0.004o
較大載重12kg
驅(qū)動速度 Max 10o/s
重量7kg
移動范圍 360o
分辨率 0.0072o
較大載重4kg
(瞬間在343N · cm 以下)
(載重體瞬間) Max 18o/s
重量5kg
調(diào)心**卡盤(滾花環(huán)固定) No.211-032 微型**卡盤 No.211-031
測量小型物件時(shí),采用操作性能出眾的滾花環(huán)很*達(dá)到
固定的目的。
采用它可以固定調(diào)心**卡盤不能有效固定的?1mm 以下
的微型直徑的工件。
固定范圍內(nèi)爪的外徑?1 ~ ?36mm
外觀尺寸(D X H) 內(nèi)爪的內(nèi)徑?16 ~ ?69mm
重量外爪的外徑?25 ~ ?79mm
?118 X 41mm
1.2kg
固定范圍外徑?0.1 ~ ?1.5mm
外觀尺寸(D X H) ?.5mm
重量0.6kg
10
選配
在測量圓柱狀工件時(shí),為提高測量精度,同時(shí)平行調(diào)整工件的母
線軸和測量軸,以及調(diào)整水平方向都是必不可少的。如果使用3
軸調(diào)整工作臺,遵循FORMTRACEPAK 導(dǎo)向便可通過簡單操作實(shí)
現(xiàn)調(diào)適和水平調(diào)整。不需要經(jīng)驗(yàn)和感覺。
3 軸調(diào)整工作臺 No.178-047
調(diào)適充分調(diào)適不充分
母線軸
測量結(jié)束點(diǎn)
母線軸
測量結(jié)束點(diǎn)
測量起點(diǎn)
測量起點(diǎn)
測量圖形
雙扭式旋轉(zhuǎn)鉗臺
218-003
V 組件臺
998291
老虎鉗
178-019
十字移動工作臺
218-001
十字移動工作臺
218-041
V 組件臺
172-234
V 組件臺
172-378
夾具裝置
176-107
傾斜中心臺
172-197
兩中心提升器
172-143
兩中心臺
172-142
帶十字移動的載物臺
(游標(biāo)型)
178-043-1
帶十字移動的載物臺
(數(shù)顯型)
178-042-1
傾斜載物臺
178-016
傾斜載物臺(DAT 用)
178-048
校正用臺*2
12AAG175
校正用臺*1
12AAM100
校正用臺*3
12AAM309
其他
使用3 軸調(diào)整工作臺時(shí)的FORMTRACEPAK 導(dǎo)向畫面
*1 : CV-3200 系列向上測量校正時(shí)需要。
*2 : 不使用十字移動工作臺、Y 軸工作臺,安裝直臂/ 小孔臂進(jìn)行一次性綜合校正時(shí)需要。
*3 : 不使用十字移動工作臺、Y 軸工作臺,安裝直臂/ 偏心臂/ 小孔臂進(jìn)行一次性綜合校正時(shí)需要。
11
防振臺架
●配置防振臺(No.178-023,
No.178-025) 專用架臺
外觀尺寸(W×D×H) :
640×470×660mm
重量 : 25kg
No.178-024
防振臺*1 (泵供給式)
No.178-023
防振臺*1 (空氣供給式)
No.178-025
防振臺*1
(架臺一體式、空氣供給式)
No.12AAK110
監(jiān)控臂*2
No.12AAK120
側(cè)面工作臺*2
No.12AAL019
*1 : 用在商品符號末尾為S4、S8、H4、H8。末尾W4、W8 (大型規(guī)格) 所使用型號請另行咨詢。
*2 : 與防振臺(No.12AAK110) 共用。
*3 : 打印機(jī)用支架請另行購買。
*1 : 用在商品符號末尾為S4、S8、H4、H8。
末尾W4、W8 (大型規(guī)格) 所使用型號請另行咨詢。
組合示例 : 沒有監(jiān)控臂、有側(cè)面工作臺
(不含主機(jī)及PC)
組合示例 : 有監(jiān)控臂、沒有側(cè)面工作臺
(不含主機(jī)及PC)
防振臺
防振臺
測臂
●測臂應(yīng)用列表
測臂名稱 符號 貨號適用測針
直式測臂AB-31*1 12AAM101 SPH-5*, 6*, 7*, 8*, 9*SPHW*2-56, 66, 76
偏心式測臂AB-32 12AAM102 SPH-5*, 6*, 7*, 8*, 9*、SPHW*2-56, 66, 76
小孔測臂AB-33 12AAM103 SPH-41, 42, 43
*1 : 標(biāo)準(zhǔn)配件。
*2 : CV-4500 系列用測臂。
*3 : 安裝單切面測針SPH-71 (標(biāo)配附件) 時(shí)。
防振臺
??直式測臂 AB-31 ??偏心式測臂 AB-32 ??小孔測臂 AB-33
??8 57.5
20
218??3
??8
40
57.5
20
??8
218
57.5
20
218??3
防振臺
監(jiān)控臂
側(cè)面工作臺防振臺
12
測針
測針名稱符號貨號適用測臂編號H(mm)
兩側(cè)圓錐*1
測針
SPHW-56 12AAM095*2 AB-31, AB-32 20
SPHW-66 12AAM096 AB-31, AB-32 32
SPHW-76 12AAM097 AB-31, AB-32 48
單切面測針
SPH-51 354882 AB-31, AB-32 6
SPH-61 354883 AB-31, AB-32 12
SPH-71 354884 *2*3 AB-31, AB-32 20
SPH-81 354885 AB-31, AB-32 30
SPH-91 354886 AB-31, AB-32 42
交叉切面測針
SPH-52 354887 AB-31, AB-32 6
SPH-62 354888 AB-31, AB-32 12
SPH-72 354889 AB-31, AB-32 20
SPH-82 354890 AB-31, AB-32 30
SPH-92 354891 AB-31, AB-32 42
圓錐測針
針尖角度30o
材質(zhì): 藍(lán)寶石
SPH-53 354892 AB-31, AB-32 6
SPH-63 354893 AB-31, AB-32 12
SPH-73 354894 AB-31, AB-32 20
SPH-83 354895 AB-31, AB-32 30
SPH-93 354896 AB-31, AB-32 42
圓錐測針
針尖角度30o
材質(zhì): 超硬合金
SPH-56 12AAA566 AB-31, AB-32 6
SPH-66 12AAA567 AB-31, AB-32 12
SPH-76 12AAA568 AB-31, AB-32 20
SPH-86 12AAA569 AB-31, AB-32 30
SPH-96 12AAA570 AB-31, AB-32 42
圓錐測針
針尖角度20o
材質(zhì): 超硬合金
SPH-57 12AAE865 AB-31, AB-32 6
SPH-67 12AAE866 AB-31, AB-32 12
SPH-77 12AAE867 AB-31, AB-32 20
SPH-87 12AAE868 AB-31, AB-32 30
SPH-97 12AAE869 AB-31, AB-32 42
圓錐測針
針尖角度50o
材質(zhì): 金剛石
SPH-79 355129 AB-31, AB-32 20
刀刃測針
SPH-54 354897 AB-31, AB-32 6
SPH-64 354898 AB-31, AB-32 12
SPH-74 354899 AB-31, AB-32 20
SPH-84 354900 AB-31, AB-32 30
SPH-94 354901 AB-31, AB-32 42
球形測針
SPH-55 354902 AB-31, AB-32 6
SPH-65 354903 AB-31, AB-32 12
SPH-75 354904 AB-31, AB-32 20
SPH-85 354905 AB-31, AB-32 30
SPH-95 354906 AB-31, AB-32 42
小孔測針*4
SPH-41 12AAM104 AB-33 2
SPH-42 12AAM105 AB-33 4
SPH-43 12AAM106 AB-33 6.5
*1 : SV-C4500 系列用測針。
*2 : SV-C4500 系列用標(biāo)準(zhǔn)配件。
*3 : SV-C3200 系列用標(biāo)準(zhǔn)配件。
*4 : SV-C3100/4100 系列用測針不可使用SPH-21、22、23。
??測針應(yīng)用列表
針尖角度 : 20??
針尖寬度 : 3mm
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
H
??3
??單切片測針
針尖角度 : 12??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
??3
H
??交叉切面測針
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
H
??3
??刀刃測針
H
??3
??球形測針
針尖球直徑 : 1mm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
??3
H
??圓錐測針
針尖角度 : 30??(只有SPH-79為50??)
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì):藍(lán)寶石·超硬合金
????僅SPH-79為鉆石??
H
??3
??圓錐測針
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
55 ??1.6
??4.8
H
??小孔測針??SPH-41
針尖形狀 : 單切面
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
0.4
??3
H
1
??小孔測針 SPH-42
針尖形狀 : 單切面
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
55
??5
??小孔測針 SPH-43
針尖形狀 : 單切面
針尖角度 : 20??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
??4
H
2.5
55
??兩側(cè)圓錐測針
針尖角度 : 30??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
H
??3
??兩側(cè)小孔測臂測針SPHW-31 ??兩側(cè)小孔測臂測針 SPHW-32 ??兩側(cè)小孔測臂測針 SPHW-33
針尖形狀 : 圓錐
針尖角度 : 30??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
針尖形狀 : 圓錐
針尖角度 : 30??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
針尖形狀 : 圓錐
針尖角度 : 30??
針尖半徑 : 25μm
針尖材質(zhì) : 超硬合金
??4
??1.6
??8
275
20
??5
??3
??8
275
20
??4
??8
275
20
H
針尖放大圖
H
針尖放大圖
H
針尖放大圖
??測臂測針(測臂與測針一體型)
測針名稱符號符號H(mm)
兩側(cè)小孔測針*5
SPHW-31 12AAM108 2.4
SPHW-32 12AAM109 5
SPHW-33 12AAM110 9
*5 : SV-C4500 系列所用的測臂測針。
13
規(guī)格
型號
CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8
CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8
測量范圍
X 軸100mm 200mm
Z1 軸(檢測部) 60mm (水平位置±30mm)
Z2 軸(立柱) 移動量300mm 500mm 300mm 500mm
檢測器
(Z1 軸 : 檢測器)
測量單元圓弧光柵尺
分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm
測針上/ 下運(yùn)作弧形移動
移動方向向前/ 向后 雙方向
測針方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(單獨(dú)測量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可連續(xù)測量)
測力CV-3200 系列 : 30mN (根據(jù)配重調(diào)整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換)
跟蹤角度向上77o、向下83o(根據(jù)表面粗糙度*1 使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)
驅(qū)動部
標(biāo)尺
X 軸 激光全息光柵尺
Z2 軸(立柱) ABS 光柵尺
分辨率
X 軸 0.05 μm
Z2 軸(立柱) 1 μm
驅(qū)動速度
X 軸0 ~ 80mm/s 外加手動
Z2 軸(立柱) 0 ~ 30mm/s 外加手動
測量速度X 軸 0.02 ~ 5mm/s
直線度*2 X 軸 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm
傾角范圍X 軸 ±45o
指示精度
(20oC)
CV-3200
系列
X 軸
±(0.8+0.01L)μm L 驅(qū)動長度(mm)
寬范圍 : 1.8 μm/100mm
窄范圍 : 1.05 μm/25mm
±(0.8+0.02L)μm L 驅(qū)動長度(mm)
寬范圍 : 4.8 μm/200mm
窄范圍 : 1.3 μm/25mm
Z1 軸(檢測部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm H= 為水平位置上的測量高度(mm)
CV-4500
系列
X 軸
±(0.8=0.01L)μm L 驅(qū)動長度(mm)
寬范圍 : 1.8 μm/100mm
窄范圍 : 1.05 μm/25mm
±(0.8=0.02L)μm L 驅(qū)動長度(mm)
寬范圍 : 4.8 μm/200mm
窄范圍 : 1.3 μm/25mm
Z1 軸(檢測部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm H= 為水平位置上的測量高度(mm)
外觀尺寸
(W×D×H)
主機(jī)*3 756×482
×966 mm
756×482
×1166 mm
1156×482
×1176 mm
766×482
×966 mm
766×482
×1166 mm
1166×482
×1176 mm
遙控箱221×344×490 mm
遙控箱 248×102×62.2 mm
重量
主機(jī)140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg
遙控箱14kg
遙控箱 0.9kg
使用溫度范圍15 ~ 25oC (校正時(shí)和測量時(shí)的溫度變化在±1o)
使用濕度范圍20 ~ 80%RH (無凝結(jié)狀態(tài))
保存溫度范圍-10 ~ 50oC
保存濕度范圍5 ~ 90%RH (無凝結(jié)狀態(tài))
*1 : SPH-71(No.354884)
*2 : X 軸水平位置時(shí)
*3 : 主機(jī)材料為花崗巖
14
外觀
110
(?? ) 內(nèi)尺寸為H4規(guī)格表示。
??????內(nèi)尺寸為W4規(guī)格表示。
CV-3200系列監(jiān)測器,標(biāo)配測力調(diào)整用軟件。
測量區(qū)域
T型槽
(?? ) 內(nèi)尺寸為H8規(guī)格表示。
??????內(nèi)尺寸為W8規(guī)格表示。
CV-3200系列監(jiān)測器,標(biāo)配測力調(diào)整用軟件。
測量區(qū)域
??CV-3200S4/H4/W4, CV-4500S4/H4/W4
??CV-3200S8/H8/W8, CV-4500S8/H8/W8
單位 : mm
T型槽尺寸
全型號通用