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雖然在泵斷開電源后就應給泵充氣已被大家所接受，且很平常，但是，渦輪分子泵在切斷電源后，泵要漸漸地減速，若延遲幾秒或幾分鐘再充氣會更好一些。在泵減速到它平時速度的30%～50%期間，此時泵仍能起到抽氣和壓縮作用。能有效地使真空室處在真空狀態下且能防止碳氫化合物的返流。

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