無油干式機械真空泵的工作原理

無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，爪型真空泵，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。 ? ?

目前，爪型真空泵型號，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，爪型真空泵圖片，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。

對于普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。

干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，爪型真空泵機組，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。 ?

真空泵油常識

真空泵油的混用準繩

1.不同品種牌號、不同消費廠家、新舊泵油在普通狀況下應盡量防止混用。

2.在下列狀況下，真空泵油可混用:

(1)同一廠家同類質量根本相近產品，或高質量泵油混入低質量泵油仍用于原運用的機器設備；

(2)同一廠家同種不同牌號產品在需求調整泵油的粘度等理化性能時能夠混用；

(3)不同類的泵油，假如曉得兩種對混的泵油都是不加添加劑的，或其中一個是不加添加劑，或兩油都加添加劑但互相不起反響的，普通能夠混用，但對質量高的泵油來說質量會有所降低。空泵油與其它合成真空泵油互換時，應將泵拆開作徹底清洗。包括各零部件均須浸漬在改換的油內以防污染。

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