【美清凈化工程像您**——潔凈室】

潔凈室-無塵車間所需要的*凈化設備介紹

無塵車間是一個密閉的內循環空間，其內環境基本是外界隔開，以便創造出一個設計要求的潔凈空間環境，根據生產設計的要求，無塵車間按潔凈度分成不同等級，河北潔凈間，分別為十級、百級，千級、萬級、十萬級等（目前國內較高為十級無塵車間）。

復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部**潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域**覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，潔凈間設備，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為較適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

⑶并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級10，000~100，000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class 1~100級。潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

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