多功能測量顯微鏡 JL107J
主要用途:
多功能測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量,特別適用于電子行業,**精密機械加工。用來測量大規模集成電路線寬和精細小工件的幾何尺寸,以及其它精密零件測量。廣泛地適用于計量室,生產作業線以及科學研究等部門。
多能功測量顯微鏡JL107JA型配有高精度的工作平臺和日本三豐測微手輪。從而**儀器的高精度性,是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。
本儀器是無窮遠光學系統,配置高數值孔徑物鏡,且采用高精度的工作平臺,可選配日本Mitutoyo的高精密數顯測微頭。操作方便,**性較強。儀器放大倍數高,工作臺具有XY直角坐標系和O點較坐標系,玻璃工作臺可以360度旋轉。107JA系列都可以進行垂直高度的測量。照明系統除作透、反射照明外,還可作斜光線照明。
本儀器不僅可以做為測量儀器使用,還可以用作不透明物體的觀察與測量。是一臺綜合型的測量儀器。并具有明暗場,微分干涉,FA測量等擴展功能,適用范圍更廣泛。
主要技術規格:
鏡筒
頭 部
三目,30?傾斜,可**通光攝影
粗 動
立桿調節80mm,調節范圍30mm
微 動
0.001mm/格
高度(Z軸)測量
10~25mm(可選)
較小讀數0.001mm(干分表讀數)
工作臺
尺 寸
工作臺160*160mm
左右(X軸)
移動范圍50mm
前后(Y軸)
移動范圍50mm
測量分度值
0.5um
玻璃工作臺
360°旋轉,分度值5";
手輪
數 顯
XY數顯解析度0.001mm
普 通
手輪讀數0.01mm(定制0.005mm)
光學系統
目 鏡
WF 10X/22mm
無窮遠平場長工作距離物鏡
PLL5X 工作距離:26.1mm
PLL10X 工作距離:20.2mm
PLL20X工作距離:8.80 mm
PLL40X 工作距離:3.68mm
PLL60X工作距離:3.18 mm
其它
濾色片
藍、綠、黃、磨砂
正交偏光
透反射機型中配有
照明系統
光源
透射照明
LED光源 藍、綠濾色片
反射照明
12V50W 鹵素燈
電 源
AC 220V±10% 50/60HZ
選購件
成像設備
數碼攝像頭、單反相機
數顯屏幕
數顯屏幕或屏幕成像
手輪
三豐手輪或數顯手輪
目鏡
帶尺目鏡或十字分劃目鏡
物鏡
長工作距離PLL50X,PLL80X,PLL100干鏡
其它
熒光裝置,DIC裝置,FA系統
裝箱數 : 1 ;
適用范圍 : 用于錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試 ;
重量 : 15000(g) ;
儀器放大倍數 : 50~600X ;
物鏡放大倍數 : 5X 10X 20X 40X 60X ;
目鏡放大倍數 : WF10X ;
型號 : JL107JA ;
** : 聚亮 ;
類型 : 側量顯微鏡 ;