旋片式真空泵機(jī)組編輯旋片真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級(jí)泵，立式真空機(jī)組，因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)樵摍C(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺(tái)機(jī)械真空泵，因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無(wú)爆性的、對(duì)金屬無(wú)腐蝕性的、與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的也不會(huì)含有顆粒塵埃的氣體。而立式無(wú)油往復(fù)泵機(jī)組以ZJ泵為主泵，以WLW型方式無(wú)油泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成，由于WLW型真空泵采用無(wú)油自潤(rùn)滑系統(tǒng)，這樣可以獲得潔凈真空，成套真空機(jī)組，這樣在加裝尾氣收集裝置后，可以收集在高真空系統(tǒng)中無(wú)法凝固、無(wú)法壓縮收集的氣體，承德真空機(jī)組，而又同時(shí)避免了水環(huán)機(jī)組所產(chǎn)生的大量廢水的排放而導(dǎo)致污染環(huán)境的問題。

羅茨泵－水環(huán)泵－大氣泵機(jī)組

即使采用雙級(jí)水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內(nèi)，這是因?yàn)槭艿剿娘柡驼羝麎旱南拗啤Ｋh(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實(shí)際上水環(huán)泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級(jí)泵的極限真空度，臥式真空機(jī)組，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。這樣，串聯(lián)一級(jí)大氣泵后的極限真空度可達(dá)20~30Torr，如果水環(huán)泵與二級(jí)大氣泵組合，則極限真空可達(dá)2~10Torr。

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