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1、本儀器采用非接觸、光學相移干涉測量方法，測量時不損傷工件表面，能**測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形，并分析計算出測量結果。
2、適用于測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度；標尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結構鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌；磁（光）盤、磁頭表面結構測量；硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。
3、由于儀器測量精度高，具有非接觸和三維測量的特點，并采用計算機控制和**分析、計算測量結果，本儀器適用于各級測試、計量研究單位工礦企業計量室，精密加工車間，也適用于高等院校和科學研究單位等。
型號
WGL
在連續表面上，相鄰二象素之間沒有大于1 / 4波長的高度突變時：
1000一1nm
相鄰二象素之間含有大于1 / 4波長的高度突變時：
130一1nm
測量的重復性：
δRa≤0.5nm
物鏡倍率:
40X
數值孔徑:
Φ65
工作距離:
0.5mm
儀器視場 目視:
Φ0.25mm
攝象:
0.13×0.13mm
儀器放大倍數 目視:
500×
攝象（計算機屏幕觀察）
2500×
接收器測量列陣:
1000X1000
象素尺寸:
5.2×5.2μm
測量時間采樣（掃描）時間:
1S
儀器標準鏡    反射率（高）:
～50 %
反射率（低）:
～4 %
照明光源:白熾燈
6V 5W
綠色干涉濾光片波長:
λ≒530nm  
半寬度
λ≒10nm

型號 : WGL ;
** : 上海物光 ;
加工定制 : 否 ;

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