真空感應爐大約始于1920年，用于熔煉鎳鉻合金。直到*2次世界大戰，由于真空技術的進步使真空感應爐熔煉才開始真正發展起來。1926年德國用真空感應爐（容量4t，功率350kw）熔化Co.Ni合金。二戰期間歐美等國家已達到了實用化程度并取得了飛速發展，日本也相繼采用。這種方法多用于熔煉耐熱鋼、軸承鋼、純鐵、鐵鎳合金、不銹鋼等多種金屬材料。這一方法使材料的斷裂強度、高溫韌性、耐氧化性等都得到了改善。由于大型真空抽氣設備（如增壓泵）的出現，真空感應爐也逐步向大型化發展。以美國為例，1969年真空感應爐的容量已達到27.60t的規模。滿足了各種金屬材料工業化生產的要求。西歐各國也在20世紀60年代，將爐子向大型化發展并不斷改進，可在冶煉過程中不破壞真空，在裝料、鑄模準備及澆鑄操作等過程實現連續的或半連續的真空感應熔煉。美國consarc公司和德國ALD是目前**上較主要的大型真空感應熔煉爐制造企業，生產的大型真空感應熔煉爐可以達到30t，甚至更大。

真空冶金是指在小于大氣壓下進行的冶金作業。真空冶金的應用， 是建立在真空技術的進步和廣泛應用基礎上的。獲取真空的想法， 出現在公元前384～322 年。1654年一臺可供實用的真空泵由德國馬德堡市市長、工程師O. V . Guerike 制成， 并用來做了有名的“馬德堡半球實驗”，真空感應熔煉爐，開始了實際應用真空的時代。1643 年E . Tor ricelli 用一端封閉的玻璃管，真空感應熔煉爐價格， 測出大氣壓為760 mm 汞柱高。1865 年Bessemer設想將煉好的鋼在真空中澆鑄以消除氣泡和裂紋， 但技術和設備都不足以達到要求。1874 年H.Mcleode 發明了壓縮真空計。1905 年M. V. Pirani提出電子束熔煉的概念。二十世紀五十年代真空冶金應用于高溫合金的熔煉， 目前世界上的較大的EBCFM爐是建立在日本礦業日立工廠的ESP100/1200CF 爐。1917 年真空電阻爐熔化鎳基合金。1923年德國開始研究真空感應熔煉。1926年德國用真空感應爐( 容量4t ，渭南真空感應熔煉爐， 功率350 kW) 熔化Co 、Ni合金。1935 年Hopkins 研究應用水冷銅坩堝自耗電極真空電弧熔煉。1938 年應用真空脫氣設備對鋼進行脫氣處理。1940 年前蘇聯開始研究電渣冶金。美國于1950 年應用真空自耗電極電弧爐熔煉T i， 1957 年應用電子束爐熔煉T a、Nb 等合金， 1962 年應用等離子熔煉不銹鋼及高溫合金。

二十世紀五十年代**上普遍采用電弧爐或非真空感應爐熔煉高溫合金及特種鋼。但電弧爐只能熔煉低合金化的合金及鋁、鈦等易燒損元素少的合金。現代的高溫合金含有大量的易燒損元素及微量元素， 必須采用真空下的熔煉工藝。要進一步提高合金的質量、改善合金的鑄態組織和熱加工塑性、力學性能等， 須采用雙聯及三聯工藝。通常情況下，真空感應熔煉爐廠家， 對合金化程度較低的合金來說是采用電弧爐熔煉、非真空感應爐熔煉鑄成電極后再進行真空自耗或電渣重熔。對合金化程度較高的合金， 則采用真空感應爐熔煉成電極棒， 然后再經真空自耗重熔或電渣重熔。采用不同的冶煉工藝方法冶煉不同類型的合金， 其冶煉工藝因素對冶金質量的影響各不相同。采用電渣重熔金屬作為*三次真空電弧重熔的自耗電極， 主要是**合金具有很低的氣體含量。

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