磊博真空泵按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類

　　①機(jī)械式容積真空泵:這種泵是靠機(jī)械動(dòng)作使泵腔工作容積周期變化來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的。如往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵等都屬于此類泵。

　?、谏淞魇秸婵毡?這種泵沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件.主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。

　?、燮渌愋驼婵毡?這類泵多屬于獲得高真空、較高真空或高純潔真空泵的泵類，如吸附泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。

　　(3)按工作原理分類 這是真空泵的基本分類方式，根據(jù)工作原理的不同各種真空泵可分為往復(fù)式、旋片式、滑閥式、機(jī)械增壓式、噴射泵、擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。

旋片式真空泵：

兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，德國(guó)busch普旭真空泵，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體**過排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走，普旭真空泵的價(jià)格，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。

　　實(shí)驗(yàn)室通常使用真空泵(Vacuum pump)來產(chǎn)生真空。由于從粗真空到較高真空壓力跨度高達(dá)十幾個(gè)數(shù)量級(jí)(Pa)，所以，實(shí)驗(yàn)上要求不同的真空度時(shí)需要選擇不同種類的真空泵。要獲得高真空或**高真空，一般需用幾種泵的聯(lián)合組合使用才能達(dá)到。

　　真空泵按獲得真空的機(jī)理和方式可分為壓縮型的真空泵和吸附型真空泵兩大類。壓縮型泵(Compression pump) ，是將氣體由特定容器壓縮，然后排放至容器外。如水沖泵、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、分子泵等。另一類是吸附型泵(Sorption pump) ，是依靠將特定空間的氣體分子吸附方式來降低壓力以獲得真空度。如鈦泵、低溫泵、吸附泵等。

　　機(jī)械泵和擴(kuò)散泵價(jià)格低廉、抽氣速率很高，是實(shí)驗(yàn)室較常用的真空泵，但它們都要用特種油作為工作物質(zhì)，天津普旭真空泵，因而對(duì)實(shí)驗(yàn)對(duì)象有一定的污染。機(jī)械泵只能產(chǎn)生1~10-1Pa的低真空。擴(kuò)散泵使用時(shí)必須用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，可獲得10-1~10-7Pa的高真空或**高真空。隔膜泵、吸附泵和鈦泵都屬于無(wú)油類型泵，不存在油蒸氣的沾污問題，它們串級(jí)使用可獲得優(yōu)于10-6Pa的**高真空。分子泵是靠?jī)?nèi)圓筒高速機(jī)械運(yùn)動(dòng)使氣體作定向流動(dòng)，一般須與前級(jí)泵組合來獲得高真空。低溫泵是目前抽速較，大、能達(dá)到較高真空的真空泵。

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