型號：Honor series 6040

晶圓劃片效果圖：
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行業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體集成電路，包括單雙臺面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片，單雙臺面可控硅晶圓切割劃片，砷化鎵，氮化鎵，IC晶圓切割劃片。


機器優(yōu)點：
1、采用皮秒激光器、定制聚焦頭， 聚焦光束直徑小到3μm，切割道僅需10μm，切縫窄，更多的芯片出片率，無熱效應(yīng)，對芯片電路無損傷。
2、劃片速度高達500mm/s, 對于厚度1mm內(nèi)樣品，激光劃線僅需一次即可折斷。
3、CCD視覺預(yù)掃描&自動抓靶定位、較大加工范圍650mm×450mm、XY平臺拼接精度≤±3μm
4、無錐度切割、較小崩邊3μm, 邊緣光滑。
5、支持多種視覺定位特征，如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等。
6、8年激光微細加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計技術(shù)積淀、性能穩(wěn)定、2萬小時無耗材。
7、機械手全自動上下料系統(tǒng)，節(jié)省人力成本。

皮秒激光劃片原理（透明材料內(nèi)聚焦爆裂切割）：
      通過貝塞爾或DOE光學(xué)系統(tǒng)，把高斯激光光束壓縮到衍射極限，在100-200KHz高重復(fù)頻率、10ps較短脈寬的激光束作用下，聚焦光斑直徑小至3μm，具有非常高的峰值功率密度，其在透明材料內(nèi)部聚焦時，瞬間氣化該區(qū)域材料從而產(chǎn)生一個氣化帶，并向上下兩表面擴散形成非線性裂紋，從而實現(xiàn)對材料的切割分離。常見的透明材料包括玻璃、藍寶石和半導(dǎo)體硅片（紅外輻射是能夠透射半導(dǎo)體硅材料的）都是適宜用皮秒&飛秒激光劃片加工的。


技術(shù)規(guī)格參數(shù)
序號	項目	技術(shù)參數(shù)
光學(xué)單元
1	激光器類型	1064nm  10ps  200KHz
2	冷卻方式	恒溫水冷
3	激光功率	50W
4	光束質(zhì)量	M2<1.3
5	聚焦方式&加工頭數(shù)	單點聚焦鏡、單頭
6	較小聚焦光斑直徑	
Ф3μm
激光加工性能
7	加工速度	100~1000mm/s可調(diào)
8	較小崩邊	3μm
9	較大加工材料厚度	1mm
10	較大加工尺寸&精度	12inches, ±5μm
機械單元
11	機床結(jié)構(gòu)	龍門式
12	機床運動軸數(shù)&種類	較多8軸,  X，Y,  Z, &θ軸
13	平臺較大行程&速度	650mm×450mm
1000mm/s
14	運動平臺重復(fù)精度	
≤±1μm
15	運動平臺定位精度	
≤±3μm
軟件控制單元
16	激光加工&平臺控制	Strongsoft, Strongcut
17	加工文件導(dǎo)入格式	Dxf, Plt, DWG, Gebar
18	CCD視覺定位軟件	AISYS Vision
19	CCD視覺定位精度	≤±3μm
電器單元
20	PLC控制器	Panasonic
21	真空系統(tǒng)	真空泵
22	除塵&集塵系統(tǒng)	專業(yè)粉塵過濾集成凈化機
自動化單元
23	自動上下料系統(tǒng)	X\Z軸+可移動上下料平臺
安裝環(huán)境
24	整機供電&穩(wěn)壓器功率	220V\380V,6KW
25	壓縮空氣壓強	
≥0.6MPa
26	無塵室等級	10000
27	地面承重	 2T/m2
28	保護氮氣	高純氮




事業(yè)部負責(zé)人：

葉先生

E-mail：yf@

    東莞市盛雄激光裝備股份有限公司2008年4月8日創(chuàng)立于廣東省東莞市，是一家專業(yè)致力于工業(yè)激光技術(shù)應(yīng)用及成套皮秒飛秒激光微細加工裝備系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于 一體的自主創(chuàng)新型****企業(yè)，在國內(nèi)有東莞松山湖和遼寧鞍山激光產(chǎn)業(yè)園兩大生產(chǎn)基地，廠房面積共計10000平方米，截止2016年1月底員工總?cè)藬?shù)為150人，其中9成以上有本科學(xué)歷。
                盛世科技良好，雄心成就未來!
太平盛世我們既不搞收藏，又不去炒股，我們腳踏實地去搞科技創(chuàng)新，并且立志要在精密激光微細加工領(lǐng)域處于行業(yè)**良好地位，很多時候的成功和良好地位都是因為我們內(nèi)心有堅定的信念和必勝的霸氣。只有敢想了、敢干了才會有成功的可能，止步不前的空想只會一事無成，所以我們首先要有雄心壯志加上持續(xù)的以行踐言才有可能成就未來。
  
stronglaser英文商標(biāo)解釋：
Strong  英文意味著強大的意思，寓意我們盛雄激光要成為一家強大的激光公司，中間的地球圖標(biāo)寓意我們盛雄激光要整合**資源、匯聚**智慧，并較終把產(chǎn)品行銷**。
   
盛雄激光自創(chuàng)立以來，始終秉承"盛世科技良好，雄心成就未來"的品牌經(jīng)營哲學(xué)，一直專注于產(chǎn)品的**技術(shù)理論研究，成套系統(tǒng)的深度研發(fā)和原始技術(shù)創(chuàng)新積累，通過長達8年持續(xù)堅持的投入和積累，自主培養(yǎng)了一大批激光光學(xué)、微電子控制、精密機械，機器視覺、機器人系統(tǒng)集成應(yīng)用和激光軟件控制等專業(yè)的精銳研發(fā)隊伍，技術(shù)研發(fā)采用模塊單元化的技術(shù)積累和儲備，讓盛雄激光具有對任何**皮秒激光微細加工系統(tǒng)像樂高積木一樣的拼接和裝配式系統(tǒng)集成的能力，因為我們盛雄激光具備了各種技術(shù)的積木單元能力，只需要和客戶交流較終的需求即可實現(xiàn)客戶期望。