有機(jī)廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術(shù)。吸收法是利用有機(jī)氣體水溶性的特性，且添加次氯酸鈉或過(guò)氧化氫等氧化劑，將有機(jī)廢氣中的有機(jī)氣體去除。此方法因添加氧化劑不但處理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍應(yīng)用。生物處理法是利用微生物的代謝作用，將污染物分解成無(wú)害物質(zhì)。生物處理法運(yùn)行費(fèi)用低，二次污染小，但處理?xiàng)l件嚴(yán)、持續(xù)時(shí)間長(zhǎng)，占地面積大，故實(shí)際應(yīng)用較少。焚燒法是利用高溫焚燒過(guò)程將有機(jī)廢氣轉(zhuǎn)換成CO2與H2O，根據(jù)廢氣的焚燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類(lèi)，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機(jī)氣體分子分離，而凈化有機(jī)廢氣。適用于集成電路產(chǎn)業(yè)的有機(jī)廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。

有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)由高溫轉(zhuǎn)輪裝置和活性炭吸附裝置構(gòu)成。有機(jī)廢氣通過(guò)預(yù)過(guò)濾器，除去灰塵顆粒，保護(hù)下游的設(shè)備；通過(guò)原氣體冷凝器，除去高沸點(diǎn)有機(jī)物甲基乙基酮MEA，保護(hù)高溫轉(zhuǎn)輪裝置內(nèi)的吸附劑；通過(guò)加熱器，加熱冷凝后的有機(jī)廢氣至30。C左右，這樣可以提高有機(jī)物吸附率；接著通過(guò)G—AC過(guò)濾器，工業(yè)廢氣處理，再次過(guò)濾去除高沸點(diǎn)有機(jī)物。廢氣送風(fēng)機(jī)將有機(jī)廢氣送人高溫轉(zhuǎn)輪裝置進(jìn)行吸附。高溫轉(zhuǎn)輪分為前后二室，并裝有一個(gè)大轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)上裝有紙質(zhì)活性炭過(guò)濾器。有機(jī)廢氣過(guò)濾和吸附后排人大氣中，吸附后的轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)入另一室內(nèi)，通入150。C左右的熱空氣進(jìn)行解吸附，解吸附出來(lái)的濃縮氣體通過(guò)過(guò)濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過(guò)濾器等設(shè)備，被濃縮氣體送風(fēng)機(jī)送人顆粒活性炭吸附筒處理，吸附后排放于大氣中。吸附筒的活性炭通過(guò)水蒸氣及壓縮空氣控制吸附桶上下?lián)醢鍎?dòng)作來(lái)完成解吸附，解吸附后的水蒸氣經(jīng)冷凝后變成濃縮液回收。此流程設(shè)計(jì)的有機(jī)廢氣含異丙醇、醋酸丁脂、二甲基亞砜、苯類(lèi)等，有機(jī)氣體濃度為65ppm，工業(yè)廢氣處理塔，經(jīng)高溫轉(zhuǎn)輪裝置處理，平均去除率可達(dá)90％以上，排放到大氣中的有機(jī)氣體濃度小于6．5ppm，工業(yè)廢氣處理凈化，濃縮氣體的體積約為原廢氣的1／15左右，濃度為原廢氣的12～13倍左右，活性碳吸附裝置平均去除率可達(dá)95％以上。實(shí)際數(shù)據(jù)表明其非甲烷總烴排放濃度為1．55—90mg／m，排放速率為0．010～0．155kg／h，均能達(dá)到相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)。其運(yùn)行處理效果良好。

常用廢氣處理工藝的簡(jiǎn)介

光氧催化氧化利用特制的高能高臭氧UV紫外線(xiàn)光束照射廢氣，使有機(jī)或無(wú)機(jī)高分子化合物分子鏈，在高能紫外線(xiàn)光束照射下，與臭氧進(jìn)行反應(yīng)生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投資費(fèi)用低，適用范圍廣，凈化效率高，操作簡(jiǎn)單，除臭效果好，設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，占地小，運(yùn)行費(fèi)用低，隨用隨開(kāi)，不會(huì)造成二次污染。

吸附法利用吸附劑的吸附功能使有機(jī)廢氣物質(zhì)由氣相轉(zhuǎn)移至固相，適用于處理低濃度，高凈化要求的有機(jī)廢氣。凈化效率很高，可以處理多組分有機(jī)廢氣，吸附劑費(fèi)用昂貴，再生較困難，要求待處理的有機(jī)廢氣有較低的溫度和含塵量。

低溫等離子體等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含較高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，較終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分有機(jī)廢氣，設(shè)備占地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的有機(jī)廢氣分子作用；運(yùn)行費(fèi)用低；反應(yīng)快、停止十分迅速，隨用隨開(kāi)。

催化燃燒法又稱(chēng)為（RTO）在高溫下有機(jī)廢氣物質(zhì)與燃料氣充分混和，在催化劑（三氧化二鋁或二氧化鈦）實(shí)現(xiàn)完全燃燒。適用于處理高濃度、小氣量的可燃性氣體，凈化效率高，有機(jī)廢氣物質(zhì)被徹底氧化分解，但設(shè)備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次污染。

水吸收法（噴淋塔）利用有機(jī)廢氣中某些物質(zhì)易溶于水的特性，使有機(jī)廢氣成分直接與水接觸，從而溶解于水達(dá)到去除目的。適用于水溶性、有組織排放源的有機(jī)廢氣。工藝簡(jiǎn)單，管理方便，設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用低，但產(chǎn)生二次污染，需對(duì)洗滌液進(jìn)行處理；凈化效率低，應(yīng)與其他技術(shù)聯(lián)合使用，對(duì)有機(jī)廢氣處理效果差。

藥液吸收法利用有機(jī)廢氣中某些物質(zhì)和藥液產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的特性，去除某些有機(jī)廢氣成分，工業(yè)廢氣處理裝置，適用于處理大氣量、高中濃度的有機(jī)廢氣。能夠有針對(duì)性處理某些有機(jī)廢氣成分，工藝較成熟，凈化效率不高，消耗吸收劑，易形成而二次污染。

催化氧化反應(yīng)塔內(nèi)裝填特制的固態(tài)復(fù)合填料，填料內(nèi)部復(fù)合催化劑。當(dāng)有機(jī)廢氣在引風(fēng)機(jī)的作用下穿過(guò)填料層，與通過(guò)特制噴嘴化劑在固相填料表面充分接觸，并在催化劑的催化作用下，有機(jī)廢氣中的污染因子被充分分解。適用范圍廣，尤其適用于處理大氣量、中高濃度的廢氣，對(duì)疏水性污染物質(zhì)有很好的去除率。占地小，投資低；管理方便，即開(kāi)即用；耐沖擊負(fù)荷，不易被污染物濃度及溫度變化影響。需消耗一定量的藥劑，運(yùn)行成本較高，催化劑操作不當(dāng)會(huì)中毒，存在二次污染。

光化學(xué)利用惡臭物質(zhì)對(duì)光子的吸收而發(fā)生分解，同時(shí)反應(yīng)過(guò)程產(chǎn)生的羥基自由基、活性氧等強(qiáng)化性基團(tuán)也能參與氧化反應(yīng)，從而達(dá)到降解惡臭物質(zhì)的目的。適用于濃度較低，且能吸收光子的污染物質(zhì)，可以處理大氣量的、低濃度的有機(jī)廢氣，操作較為簡(jiǎn)單，占地面積小。對(duì)不能吸收光子的污染物質(zhì)效果差，對(duì)于成分復(fù)雜的廢氣無(wú)法達(dá)到預(yù)期處理效果。

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