暗斑的中心位置只由渦旋位相板的中心點(diǎn)決定，不隨光束漂移變化，暗斑可通 過增強(qiáng)光束功率獲得比傳統(tǒng)實(shí)心光斑小得多的尺寸，在探測面大小一定的情況下，若采用暗斑作為掃描光斑，暗斑則具有比傳統(tǒng)掃描光斑較大的掃描范圍和較精確的定位。本文方法特別適用于小行程的導(dǎo)軌垂直度測量，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)較簡單、操作比較方便，與傳統(tǒng)實(shí)心光斑掃描方法相比，具有定位精確和測量精度高等優(yōu)點(diǎn)。系統(tǒng)裝置：激光器發(fā)出中心波長為635nm的激光，調(diào)節(jié)平臺的 x導(dǎo)軌或y導(dǎo)軌可使ccd在垂直于光軸的橫向平面沿x導(dǎo)軌或y導(dǎo)軌方向上掃描，同時(shí)，ccd與計(jì)算機(jī)相連，計(jì)算機(jī)用于記錄和分析數(shù)據(jù)。

根據(jù)平行光束的遠(yuǎn)場干涉衍射原理，積分后可在衍射屏(即系統(tǒng)中的ccd探測面)上得到中心為暗斑的空心型光斑。空心型光斑 中心暗斑能量的較低位置(經(jīng)二值化后為暗斑的中心位置)僅由渦旋位相板的中心點(diǎn)決定，不隨光束的漂移而變化，且不受光斑質(zhì)量的影響。其中，暗斑的大小可通 過增強(qiáng)光束功率進(jìn)一步縮小。采用暗斑作為掃描光斑，與傳統(tǒng)掃描光斑相比，暗斑掃描具有比傳統(tǒng)掃描光斑較大的掃描范圍和較精確的定位，

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