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    為了提高臺(tái)車爐的熱工藝性能,除必須根據(jù)工藝要求、預(yù)熱器及爐用機(jī)械形式、燃料及燃燒裝置類別、適宜的爐子排煙方式等設(shè)計(jì)優(yōu)良的爐型結(jié)構(gòu)外,還需對(duì)爐溫、爐壓進(jìn)行自動(dòng)控制,對(duì)燃料與助燃空氣量進(jìn)行自動(dòng)比例調(diào)節(jié)。需要指明:實(shí)現(xiàn)臺(tái)車爐爐子較佳性能不能單獨(dú)依靠自動(dòng)控制來實(shí)現(xiàn),還應(yīng)有嚴(yán)格的操作管理制度。

    臺(tái)車爐爐子工作處于穩(wěn)定狀態(tài),沒有周期性的爐墻蓄熱損失。還由于爐內(nèi)帶有一個(gè)預(yù)熱爐料區(qū)段,煙氣部分余熱為冷工件所吸收,降低了離爐煙氣溫度從而使離爐煙氣帶走的熱損失減少。提高爐子熱效率的基本措施是:盡可能連續(xù)生產(chǎn)和滿負(fù)荷工作,要設(shè)置預(yù)熱器對(duì)助燃空氣和燃料進(jìn)行預(yù)熱以回收煙氣余熱,采用低熱容和低熱導(dǎo)率的輕質(zhì)或**輕質(zhì)耐火材料以減少爐墻蓄、散熱損失。

    關(guān)于退火爐設(shè)計(jì)方案的解析    
        快速退火爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展,開展快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)研究,對(duì)國內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備,有著十分重要的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值。
        公司針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對(duì)快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求,在綜合分析國內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上,通過深入的分析研究,設(shè)計(jì)了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置,上下兩排成正交的燈管組對(duì)位于其中間的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行直接加熱實(shí)現(xiàn)溫度的快速上升,以單點(diǎn)測溫作為溫度測量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論,以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計(jì)算得到系統(tǒng)所需要的熱功率,在此基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)熱源與反應(yīng)腔體、冷卻系統(tǒng)、送氣系統(tǒng)等部件的設(shè)計(jì)。通過分析影響硅片表面溫度邊緣效應(yīng)的因素,提出燈管分區(qū)及分區(qū)控制的設(shè)計(jì)方案,實(shí)現(xiàn)硅片表面溫度的均勻性;通過非接觸式溫度測量原理的分析,完成光學(xué)高溫計(jì)選型、測溫方案以及溫度校準(zhǔn)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)溫度的精確測量,基于系統(tǒng)模型的溫度控制器設(shè)計(jì)**了溫度控制的精度與穩(wěn)定度;在分析硅片傳送功能性要求的基礎(chǔ)上,完成傳送系統(tǒng)流程設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)傳片效率與傳片的高可靠性;控制系統(tǒng)功能性設(shè)計(jì)、總體架構(gòu)以及主控制程序流程圖設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)整機(jī)的全自動(dòng)化,**系統(tǒng)具有自動(dòng)化水平高、控制和管理功能強(qiáng)大、操作簡便、可靠性高等特點(diǎn),能很好地適應(yīng)快速退火爐系統(tǒng)對(duì)自動(dòng)控制的要求。
    宿遷壁掛爐-恒力爐業(yè)-丹陽燃?xì)鉅t由江蘇恒力爐業(yè)有限公司()提供。

           江蘇恒力爐業(yè)有限公司是設(shè)計(jì)制造各種工業(yè)電爐、熱處理設(shè)備的專業(yè)廠家,前身為丹陽市工業(yè)電爐廠,創(chuàng)建于1985年。1986年與上海電爐廠成立了上海電爐廠丹陽分廠, 2005年成立江蘇恒力爐業(yè)有限公司,目前是丹陽地區(qū)熱處理設(shè)備生產(chǎn)廠家。被評(píng)為市**企業(yè),連續(xù)6年榮獲AAA級(jí)資信企業(yè)。
      公司擁有自己的設(shè)計(jì)研發(fā)人員和制造廠房,為**客戶提供各種熱處理工業(yè)爐設(shè)備?,F(xiàn)有職工265人,工程技術(shù)人員75人,工程師15人。公司注冊(cè)資本2240萬,廠區(qū)總面積32600平方米,固定資產(chǎn)3500多萬,擁有全套電爐加工及檢測設(shè)備,是生產(chǎn)各種熱處理設(shè)備的專業(yè)化工廠。主要產(chǎn)品有箱式爐、臺(tái)車爐、熱風(fēng)循環(huán)爐、井式爐、罩式爐、管式爐、網(wǎng)帶爐、連續(xù)式滾筒爐、輥底爐、推桿爐、可傾式滾筒爐、鋼帶爐、鋁合金淬火爐、時(shí)效爐、坩堝爐、熔鋁保溫爐等??蓪?duì)工件進(jìn)行以電、天然氣、煤氣、工業(yè)燃油等為介質(zhì)的真空、保護(hù)氣氛、控制氣氛等各種自控?zé)崽幚?。年銷售營業(yè)額9000多萬元,產(chǎn)品出口俄羅斯、哈撒克斯坦、馬來西亞、越南、泰國、德國、美國等,被評(píng)為出口創(chuàng)匯**企業(yè)。我公司節(jié)能型全纖維系列臺(tái)車爐等申報(bào)江蘇科技成果獎(jiǎng),同時(shí)我廠榮獲民營科技企業(yè)稱號(hào)。 
            恒力爐業(yè)通過不斷的探索和實(shí)踐結(jié)累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。開發(fā)出全纖維爐襯,廣泛用于大型臺(tái)車爐、大型井式、罩式爐等。節(jié)能效果達(dá)20%。恒力爐業(yè)還不斷迎合工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展趨勢(shì),不斷開發(fā)出新的爐型服務(wù)于熱處理行業(yè)。恒力爐業(yè)熱忱歡迎新老客戶,各界人士光臨合作!


    產(chǎn)品價(jià)格:面議
    發(fā)貨地址:江蘇鎮(zhèn)江包裝說明:不限
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    江蘇恒力爐業(yè)有限公司 蔣偉先生 經(jīng)理認(rèn)證郵箱認(rèn)證認(rèn)證 認(rèn)證 13861385691
    相關(guān)產(chǎn)品:丹陽電爐廠,燃?xì)鉅t, 罩式爐
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