油擴散泵真空系統污染與防治

油擴散泵真空系統是運用較普遍的真空系統，其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空

裝置，螺桿真空泵，長期運用后，常見的缺點是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內壁的油蒸氣污染、真空工藝

過程各種污染物的污染有關，防止的辦法是：

（1 ）定期清洗真空室；

（2 ）定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗。

真空泵選型的注意事項

真空泵的工作壓力應該滿足真空設備的極限真空及工作壓力要求。通常，選擇泵的真空度要**真空設備真空度半個到一個數量級。

每種泵都有一定的工作壓力范圍。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，無油干式螺桿真空泵 ，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。應盡可能要求真空泵在區內，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內運行。

應避免在真空度或排氣壓力附近運行。在此區域內運行，不僅效率較低，干式螺桿真空泵，而且工作很不穩定，易產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區域之內運行，往往還會發生汽蝕現象，產生這種現象的明顯標志是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。

根據氣量和真空度選擇合適的真空泵。要保證生產所要求的真空度或在其工作壓力下排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

選擇真空泵時，山東干式螺桿真空泵，需要知道氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。真空泵的價格、運轉及維修費用。在使用許可的情況之下，應盡量選用價廉物美的真空泵。

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