名稱:氟化鎂(MgF2)
MGF2作為1/4波厚抗反射膜普遍使用來作玻璃光學薄膜,它難以或者相對難以溶解,而且有大約120NM真實紫外線到大約7000nm的中部紅外線區域里透過性能良好。OLSEN,MCBRIDE等人指出從至少200NM到6000NM的區域里,2.75MM厚的單晶體MGF2是透明的,接著波長越長吸收性開始增大,在10000NM透過率降到大約2%,雖然在8000—12000NM區域作為厚膜具有較大的吸收性,但是可以在其**部合用一薄膜作為保護層.
不使用IAD助鍍,其膜的硬度,耐久性及密度隨基板的溫度的改變而改變的.在室溫中蒸鍍,MGF2膜層通常被手指擦傷,具有比較高的濕度變化.在真空中大約N=1.32,堆積密度82%,使用300(℃)蒸鍍,其堆積密度將達到98%,N=1.39它的膜層能通過消除裝置的擦傷測試并且溫度變化低,在室溫與300(℃)之間,折射率與密度的變化幾乎成正比例的.
在玻璃上冷鍍MGF2加以IAD助鍍可以得到300(℃)同等的薄膜,但是125—150EV能量蒸鍍可是較適合的.在塑料上使用IAD蒸鍍幾乎強制獲得合理的附著力與硬度.經驗是MGF2不能與離子碰撞過于劇烈.
透光范圍(nm) 折射率(N)550nm 蒸發溫度(℃) 蒸發源 應用 雜氣排放量
2000-7000 1.38
1.35AT200 約1100 電子槍,
鉬鉭鎢舟 增透,加硬膜
眼鏡膜 少,MGF2
(MGF2)2
制程特性:折射率穩定,真空度和速率對其變化影響小
預熔不充分或蒸發電流過大易產生飛濺,造成鏡片”木”不良.在打開檔板后蒸發電流不要隨意加減,易飛濺.基片須加熱到高的張應力
白色顆粒狀,常用于抗反射膜,易吸潮.購買時應考慮其純度