珂勒曦是一家浙江雙螺桿真空泵廠商，生產的干式真空泵很早就出現了，但沒有明確的定義。就代替油封式機械泵來說，一般通用的說法是：能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內工作；在泵的抽氣流道(如泵腔)中，不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通，能連續向大氣中排氣的泵，即稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。
這些干式泵和油封式機械泵相比，達到同樣的極限壓力，其殘余氣體成分則全然不同,經分析結果明，油封泵的殘余氣體，CnHm氣體(碳氫化合物氣體)為其主要成分，而干式泵的殘余氣體為空氣的組成成分。這就證實了干式泵的抽氣不再有油的污染了。
浙江雙螺桿真空泵廠商珂勒曦，有些干式泵在結構設計上，如泵的傳動齒輪和軸承等仍在使用潤滑油，也有用合成油，如PFPE油和其他油脂等，并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內不存在，嚴格來說不是全無油的泵，但經分析，這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的，并無影響。
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