奧克密封橡膠材質介紹-全氟橡膠（FFKM）

(Perfluoroelastomer) 其化學單體結構類似于聚，具有優異的耐化學介質和耐高溫性能。普通全氟橡膠工作溫度為耐介質為-15℃到220℃，耐高溫為-15℃到300℃。

優點：

較加耐熱特性

優異的抗化學特性

優異的氣密性

抗等離子體特性

缺點：

耐低溫特性較差

原料價格較高

生產加工難度較高

應用領域：

全氟系列產品廣泛運用于這種材料主要用于半導體，軍，航天等尖端領域。運用范圍包含薄膜制程中之PVC， CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。

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中國密封技術現狀（一）機械密封

(1)潤滑槽密封[12]：“潤滑槽”（LubricationGroove）就是在密封面上沿切線方向刻出窄槽。當流體流經密封面時，這些槽能改善流體在密封面上的壓力分布，杜邦氟橡膠O型圈，有助于保持端面間的液膜穩定并防止液膜汽化。“潤滑槽”型式密封是由Flowserve公司生產的。

(2)流體動壓墊/熱流體動壓楔密封[13]：在動靜環的任一密封面上從外緣沿徑向朝里開出凹槽或企口，當密封工作時，凹槽及其周邊因流體冷卻產生變形較小，而遠離凹槽的端面因冷卻程度低而產生較大變形，因此在端面上產生周向波度而引起流體動壓效應，即流體動壓墊（HydrodynamicPad）。凹槽深度可以從幾μm到3mm，一般為0.8～2.4mm。這種型式密封較初由Bergmann公司生產，已在循環水泵軸端密封上應用長達50年而經久不衰。

(3)上游泵送密封[14，15]：在動靜環的任一密封面的下游或低壓側上加工出螺旋槽等型槽，當密封工作時，杜邦氟橡膠，受型槽動壓效應作用很少量流體從密封面下游被泵送至上游，若該剪切流完全抵消密封面的上下游壓差引起的流動時，則密封可以達到零泄漏。這類密封稱為“上游泵送密封”（UP[綜述 圖片 論壇]-streamPumpingSeals），由美國JohnCrane公司發明，常用于易燃、易爆、有毒和潤滑性差的介質密封。

(4)干氣密封[16，杜邦氟橡膠產品，17]：非接觸式干氣端面密封概念

（Drygasfaceseal）的提出始于1969年，它是在氣體潤滑軸承的基礎上發展起來的，其中以螺旋槽密封較為典型。

干氣密封在結構方面與普通機械密封的主要區別在于：干氣密封動、靜環任一密封面上精加工有均勻分布的淺槽，槽深度一般小于20μm。由于干氣密封的非接觸、使用壽命長，可以實現零泄漏，因此正在一些易汽化介質泵軸封上成為主流。常見型槽形式如圖3所示。

(a)JohnCrane公司干氣密封（左-單向螺旋槽，杜邦氟橡膠，右-雙向螺旋槽）

(b)JohnCrane-Timing公司干氣密封（上-單向雙列螺旋槽，下-雙向棕樹槽）

(c)Flowsever公司干氣密封（上-單向螺旋槽，下-雙向T型槽）

多孔端面密封[18-22]：多孔端面密封是在動靜環的任一密封面上加工出不同分布形式的微孔，這些微孔的大小、深度和分布密度因密封介質、泵操作條件的不同而不同。每一個微孔的作用就像一個微型軸承，因此產生的流體動壓效應使端面保持近接觸或完全非接觸。試驗和現場應用結果表明，與普通機械密封相比具有低功耗、低磨耗、耐高壓等優點，可用于氣體或液體。典型多孔端面密封常采用激光精密加工而成，如圖4所示。

(a)動、靜環摩擦副

(b)微孔在端面上的典型分布形式

激光面密封[23]：激光臉密封（LaserFaceSeal）與傳統密封端面技術不同的是，其摩擦端面潤滑得到強化，泄漏量得到了控制。密封面上的關鍵結構是回流結構（“眼”）和入口流結構（“鼻”）。由于回流結構對加工精度要求較高，因此目前難以普及。

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