對于光學微電子行業凈化工程來說，它的室內空氣參數要求主要有：

  1、送風量大：為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。

  2、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。

  3、新風量大：由于這類車間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的較大值：非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;**室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。

  一般來說，凈化工程潔凈室中的污染源的來源，主要是指物理，化學，生物。直徑在0.001-1000m的固定，液體，包括生物粒子和非生物粒子，我們稱為粒子的懸浮顆粒。微生物一般懸浮顆粒 的形式沒有生命，以氣溶膠的形式aeroso在空中，1m以下的永遠懸浮，10m以上會逐漸下沉，形成粉塵。

  除此之外，它的污染也可分為外部污染和內容部的污染。外部污染指的是空氣中的塵埃，內部污染是由人以及相關的產品，設備等等導致的。人是潔凈室較大的污染源，約占90%。人和環境造成的潔凈室污染，潔凈室中人的數量和活動應該有一個特殊的嚴格限制。男性平均每分鐘向周邊排放**過的1000細菌顆粒，女性**過750.穿衣服，靜止狀態發菌量為10-300個/分鐘/人，走路發菌量為900-2500個/分鐘/人。因此，對潔凈室的控制主要是對人的控制和管理。

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