但處理條件嚴、持續時間長，占地面積大，莞城清理污水池，故實際應用較少。焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機廢氣轉換成CO2與H2O，根據廢氣的焚燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。

吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機氣體分子分離，而凈化有機廢氣。適用于集成電路產業的有機廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。

有機廢氣處理系統由高溫轉輪裝置和活性炭吸附裝置構成。有機廢氣通過預過濾器，清理污水池，除去灰塵顆粒，保護下游的設備；通過原氣體冷凝器，南城清理污水池，除去高沸點有機物甲N基乙N基酮MEA，保護高溫轉輪裝置內的吸附劑；通過加熱器，加熱冷凝后的有機廢氣至30。

近期規劃自 2012 年至 2015年，高埗清理污水池，重點解決污水量大 、污染嚴重、位于水源地上游鄉鎮的排污問題。建設1 處鄉鎮污水處理廠、鋪設2個鄉鎮污水管網并接入城市污水處理廠的主管網遠期規劃自2016年至2030年，

污水主管網覆蓋所有鄉鎮，全N面解決鄉鎮污水污染問題。至規劃末期，萊西市將把所有鄉鎮和鎮內工業園區的污水進行收集和處理 ，收集率和處理率都達到90%，污泥處理率達到**。”萊西市**相關負責人介紹。

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