為了提高設備*性，在進氣方面采用壓縮空氣加新風補氣的雙進風形式；在噴淋系統方面，采用循環水泵與自動補水相結合的方法；風機采用一用一備形式。這些工藝特點使得本產品在***性方面得到較大**。內部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮丨氣吹掃保護系統，更加大了設備的*性，其中每臺硅烷燃燒塔的氮丨氣用量為1.5m3/h。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更*、更有效。

從車間工藝段抽出的酸堿廢氣在離心風機的作用下進入洗滌塔。在洗滌塔內部，中和液經噴淋系統噴灑而下，與廢氣中的酸性氣體發生中和反應從而起到凈化效果。為了提高凈化塔的凈化效率廢氣洗滌塔填料采用特殊PP海膽型保爾環以增大氣液接觸面積。為了使中和液處于一個較丨佳的吸收濃度并減少人力操作，本系統采用自動加yao系統對洗滌塔進行氫丨氧丨化鈉補充，每套系統包括1個自動加yao箱，每個自動加yao箱包括1個PH計，1個計量泵，PH計根據凈化塔箱體內吸收液的PH值來控制計量泵的開關，從而實現自動加yao。經廢氣洗滌塔凈化后的廢氣通過排放煙囪達標排放，排放標準為GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標準》二級標準。

1、酸堿廢氣凈化系統

本項目涉及的酸堿廢氣來自制絨清洗機、擴散爐、去磷硅玻璃清洗機、石英管清洗機及石墨舟清洗機等，主要成分為HF/HCl/Cl2/堿蒸汽等，這些廢氣均可溶于水，可以采用酸堿中和的方式進行廢氣處理。一般采用堿液噴淋方式進行廢氣凈化。本項目廢氣處理分為二部分：擴散間及其他廢氣。擴散間的酸堿廢氣為15000?m3/h，選一套DGS-B-15型廢氣洗滌塔進行處理；其他的酸堿廢氣采用一套DGS-B-40型廢氣洗滌塔進行處理其處理風量為40000?m3/h。廢氣洗滌塔主要有以下幾部分組成：洗滌塔、自動加yao系統、玻璃鋼離心風機、玻璃鋼風管、排風煙囪及保護鋼架、電氣控制柜等組成。

4、印刷工藝廢氣分析

印刷工藝涉及的主要設備為印刷機和燒結爐，產生的廢氣主要是一些以脂類和醇類廢氣為主的有機廢氣。

（二）廢氣抽風量設計及設備選擇

根據上述廢氣分析，太陽能電池生產線產生的廢氣以處理方式來分可分為三類：酸堿廢氣、硅烷及氨丨氣等特氣、有機廢氣。

廢氣處理又稱廢氣凈化。廢氣處理指的是針對工業場所、工廠車間產生的廢氣在對外排放前進行預處理，以達到地區廢氣對外排放的標準的工作。一般廢氣處理包括了有機廢氣處理、粉塵廢氣處理、酸堿廢氣處理、異味廢氣處理和空氣殺菌消毒凈化等方面。