?1959年，Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設想。1962年一個硅微型壓力傳感器問世，供應數控車加工，其后開發出尺寸為50～500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯接件等微機械。1965年，斯坦福大學研制出硅腦電極探針，萊西數控車加工，后來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研制出轉子直徑為60～12μm的利用硅微型靜電機，顯示出利用硅微加工工藝制造小可動結構并與集成電路兼容以制造微小系統的潛力。

于汽車、能源、、信息、光電和通信等產業的蓬勃發展，品牌數控車加工，**精密加工機的需求急劇增加，在工業界的應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、**精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等。在這一時期，**精密加工設備的相關技術，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油**承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟，**精密加工設備變為工業界常見的生產機器設備，許多公司，甚至是小公司也紛紛推出量產型設備。此外，設備精度也逐漸接近納米級水平，加工行程變得更大，加工應用也逐漸增廣，除了金剛石車床和**精密研磨外，**精密五軸銑削和飛切技術也被開發出來，并且可以加工非軸對稱非球面的光學鏡片。
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