洗凈室、品質檢查室凈化級別為7 級，采用新風機組（MAU）+循環機組（AHU）+風機過濾器單元（FFU)）的空調方式。采用的氣流形式為**部FFU送風，房間側下百葉風口回風。FFU滿布率為33%，菌菇凈化工程，洗凈室、品質檢查室對NH4+、SQx濃度有要求，實驗室無菌凈化工程，需在循環機組（AHU）內增設化學過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風混合-化學過濾器（NH4+）-化學過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾器單元（FFU）-潔凈區-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。新風接自其它系統共用的MAU-1、2新風組。

除CP室外的潔凈室所需新風采用2臺新風機組（MAU-1、2）集中處理，新風集中處理后送至各循環機組（AHU）。其氣流流程為：新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-各循環空調機組（AHU）。

潔凈室操作人員的動作應輕緩、平穩，應盡量避免不必要的動作，特別是快速走動等下肢動作更應避免，貴州凈化工程，這樣才能減少潔凈室的產塵量。選擇潔凈服因材質及式樣不同，產塵量有很大的區別。應選連體式、致密尼龍稠潔凈服，這種潔凈服比其它幾種潔凈服的產塵量要少。潔凈室設計采用環氧樹脂自流平涂地面、金屬彩鋼壁板比采用其它幾種建筑材料產生的塵埃數少。

因此，從人員控制、廠房設計兩方面考慮，可以降低潔凈室中塵埃粒子的數量。

除上述控制污染源、減少污染發生量來防止微粒污染潔凈室，空氣凈化處理的方法如控制室內的壓力，可以有效阻止室外污染入侵室內或防止室內污染逸出室外。并用合理的氣流組織有效排除室內發生的污染。這幾種途徑又均與凈化系統的風量 ( 風速 ) 或換氣次數有關。潔凈室是一個對換氣次數、靜壓差、溫度、濕度、照度等都有要求的綜合體。

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