?在高校的微電子、半導體物理實驗中，光刻實驗是必不可少的實驗之一。光刻實驗對環境的潔凈度要求很高，一般高校在沒有財力建設潔凈室的情況下，凈化工作臺成為了進行光刻實驗不可缺少的必要設備。一般來說光刻實驗進行的步驟有：旋涂光刻膠；光刻膠的前烘；曝光；顯影；后烘等步驟構成。在這些實驗步驟中所涉及的化學物品較多，而這些化學物品的溶劑多為苯類物質，如果處理不當將給實驗人員帶來較大的傷害。同時，由于實驗的步驟較多，實驗人員需要頻繁地從凈化工作臺中取、放物品，這將引入大量的灰塵影響工作時的潔凈度。因此，設計一種低成本，有效阻隔有毒氣體，提高工作時潔凈度的凈化工作臺顯得十分重要。

導流分壓式雙正壓凈化工作臺的結構設計

基于以上的設計要求，一種新型的導流分壓式雙正壓凈化工作臺結構如圖２所示。設計的具體思路如下：

（1）凈化工作臺的高效過濾器出風口與散流板１在之間增加一個導流分壓區。導流分壓區的結構如圖３所示。導流分壓區以高效過濾器出風口和散流板為上下兩個面，形成一個腔體，在兩面之間用一塊傾斜的隔板將該腔體分為兩個封閉的梯形區域，如圖３中的Ａ和Ｂ所示。

（2）作業區內氣體的流出。由于實驗中所使的物品易揮發出苯、二甲苯等有機溶劑，工作腔體內的氣體必須從固定管道排到實驗室外，這樣才能減少對人體的傷害，因此，在工作臺面下增加了一個抽氣機達到抽走工作腔體內氣體的目的。

（3）化工作臺的其他結構與現有的凈化工作臺３凈相同，沒有特別的改變。

導流分壓式雙正壓凈化工作臺的工作原理和特點

該凈化工作臺大的特點是能在作業區內形成高、低兩個正壓區域。這是由于導流分壓區的圖３區Ａ域中，位于高效過濾器出風口的氣體流入面面積大，在散流板上的氣體流出面面積小。由于流出的面積小于流入的面積，出氣流速將大于進氣流速，這將在作業區內形成高正壓。圖３區域中，氣體流入面積小于Ｂ流出面積，出氣流速將小于進氣流速，在作業區內所形成的氣壓較小。高正壓區靠近操作人員，即對大氣，始終保持正壓阻止大氣中的灰塵進入工作腔體，又使得低正壓區中的有毒氣體無法越過，保護了操作人員。同時，操作人員操作時，必須通過高正壓區，這就起到了類似傳遞窗的作用，減少了操作人員帶入作業區中的灰塵顆粒。低正壓區為主要工作區域，保持正壓可以**作業區的潔凈度達到設計要求。通過調節隔板的角度和位置，可以輕松調節高氣壓區的寬度和氣壓。

東莞市洲上凈化工程公司，公司位于東莞市樟木頭鎮石新工業區，前身“深圳市恒順凈化設備有限公司”成立于1999年。是一家專業從事空氣凈化工程的設計、施工、檢測；空氣凈化設備的研發、制造、安裝一體的高科技民營企業。公司一直致力于潔凈技術行業的研發，目前公司主要有凈化工程事業部、凈化設備事業部、濾材事業部、照明事業部等四大部門，產品廣泛應用于半導體、液晶顯示、光學電子、精密儀器、生物制藥、醫療衛生等行業。公司非常注重技術創新及新產品的研發，截止2013年12月，公司已**相關**17項。16年來，洲上凈化工程公司憑借專業的技能、誠信的服務理念贏得廣大客戶的支持和信賴，公司和富士康、創維、三星、歐菲光、洋華等多家**企業建立了長期的合作關系，公司已在中國香港、越南等國家和地區建立了子公司。公司主要產品系列：LED弧形凈化燈，LED弧形支架燈，LED凈化平板燈，室內凈化照明燈，醫療手術**燈，潔凈工作棚，潔凈工作臺，風機過濾單元（FFU），風淋室，貨淋室，傳遞窗，*送風口，*過濾器，潔凈儲衣柜，潔凈洗手烘干機，凈化棚等，也可根據客戶需要的尺寸特殊定制。