同時能測量表面粗糙度和測量輪廓形狀的混合型測量機
體機較大的節約了安裝空間
采用新型直式測臂的檢出器
擴大測量范圍的同時降低對工件的干擾
新型直式測臂不僅能降低對工件的干擾還能擴大 Z1 軸 (檢
出器) 測量范圍。
測臂安裝為一鍵式裝卸 (
測臂安裝部采用了磁性連接件,實現了**更換。此外,
裝卸部內置了*結構。
型號(貨號) SV-C3200S4 SV-C3200H4 SV-C3200W4 SV-C3200L4 SV-C3200S8 SV-C3200H8 SV-C3200W8 SV-C3200L8
SV-C4500S4 SV-C4500H4 SV-C4500W4 SV-C4500L4 SV-C4500S8 SV-C4500H8 SV-C4500W8 SV-C4500L8
測量表面粗糙度時
測量范圍 X 軸 (驅動部) 100mm ,200mm(可選)
Z1 軸 (檢出器) 800μm / 80μm / 8μm
直線度 (0.05+L/1000)μm L= 驅動長度 (mm) (0.1+0.002L)μm L= 驅動長度 (mm)
分辨力 Z1 軸 (檢出器) 0.01μm(800μm), 0.001μm(80μm), 0.0001μm(8μm)
測力 0.75mN / 4mN可選
測針針尖形狀 60o, 2μmR (測力0.75mN的型號) / 90o, 5μmR (測力4mN的型號)
對應尺寸 JIS1982/JIS1994/JIS2001/ISO1997/ANSI/VDA
評價參數
Pa, Pq, Psk, Pku, Pp, Pv, Pz, Pt, Pc, PSm, PΔq, Pm(rC), Pmr, Pδc, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rp, Rv, Rz, Rt, Rc, RSm, RΔq, Rm(rC), Rmr,
Rδc, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wp, Wv, Wz, Wt, Wc, WSm, WΔq, Wm(rC), Wmr, Wδc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Rx, AR, R, Wx, AW, W,
Wte, Ry, RyDIN, RzDIN, R3y, R3z, S, HSC, Lo, Ir, Δa, λa, λq, Vo, Htp, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, NW, SW, SAW
評價輪廓 原始輪廓、粗糙度輪廓、濾波波紋輪廓、波紋輪廓、滾動圓波形原始輪廓、滾動圓波形輪廓、包絡殘余線、
DF輪廓 (DIN4776 / ISO13565-1)、表面粗糙度MOTIF (包絡波紋輪廓在評價MOTIF時顯示)
分析圖 負荷曲線、振幅分布曲線、功率譜、自相關、Walsh 功率譜、 Walsh 自相關、**峰分布、傾斜角分布、
參數分布 (磨損量、重疊在輪廓分析可以用于面積等的分析)
曲線補償 較小平方直線、R 面補償、橢圓補償、拋物線補償、雙曲線補償、二次曲線補償、多項式補償 (自動或任意 2~7 次)、無補償
濾波器 高斯濾波器、2CRPC75、 2CRPC50、 2CR75、 2CR50、準樣條濾波器
輪廓測量
測量范圍 X 軸 (驅動部) 100mm ,200mm(可選)
Z1 軸 (檢出器) 60mm (測臂水平位置 ±30mm)
直線度 0.8μm / 100mm 2μm / 200mm
指示精度 X 軸 (驅動部) ±(0.8+0.01L)μm L= 驅動長度 (mm) ±(0.8+0.02L)μm L= 驅動長度 (mm)
Z1 軸 (檢出器) SV-C3200系列 : ±(1.4+|2H|/100)μm, SV-C4500系列 : ±(0.8+|2H|/100)μm H : 水平位置上的測量高度(mm)
分辨力
X 軸 (驅動部) 0.05μm
Z1 軸 (檢出器) SV-C3200系列 : 0.04μm, SV-C4500系列 : 0.02μm
Z2 軸 (立柱) 1μm
測力 SV-C3200系列 : 30mN (根據重量調整), SV-C4500系列 : 10, 20, 30, 40, 50mN (根據軟件轉換)
測頭方向 SV-C3200系列 : 垂直方向 (向上/ 向下單獨測量), SV-C4500系列 : 垂直方向 (向上/ 向下連續測量)
通用時
Z2 軸 (立柱) 移動量 300mm 500mm 700mm (可選)
X 軸傾斜角度 ±45o
驅動速度 X 軸 0 ~ 80mm/s 外加手動
Z2 軸 (立柱) 0 ~ 30mm/s 外加手動
測量速度 0.02 ~ 20mm/s