光氧等離子凈化一體機，等離子體中的離子、電子、激發太原子、分子及自由基都是較活潑的反應性物種，使通常條件下難以進行或速度很慢的反應變得快速，它們再進一步與污染物分子、離子反應，從而使污染物得到降解，尤其有利于難降解污染物的處理。
另外 ，由于活性離子和自由基氣體放電時一些高能激發粒子向下躍遷能產生紫外光線，當光子或電子的能量大于半導體禁帶寬度時，就會激發半導體內的電子，使電子從價帶躍遷至導帶，形成具有很強活性的電子空穴對，并進一步誘導一系列氧化還原反應的進行。
與目前國內常用的異味氣體治理方法（活性炭吸附、液體吸收、燃燒法及生物法等）相比較，低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術具有如下特點：
1、高科技創新產品：“低溫等離子體”技術是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是一全新的技術創新領域。是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、 裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。
2、高效廢氣凈化：本設備能高效去除揮發性有機物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，除臭效率可達98%以上，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有強力殺滅空氣中細菌、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的防霉作用。
3、*添加任何物質：低溫等離子體廢氣處理是一種干法凈化過程，是一種全新的凈化過程，運行過程*添加任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。
4、適應性強：持久的凈化功能，無須專人看管。可適應高濃度、大氣量、不同氣態物質的凈化處理，可在高溫250℃，低溫-50℃的環境內凈化區均可運轉，特別是在潮濕，甚至空氣。
5、濕度飽和的環境下仍可正常運行，每天24小時連續工作，長期運行穩定可靠。
6、低耗節能：運行費用低廉、省電是“低溫等離子體”核心技術之一，處理1000M3/h臭氣，耗電量僅0.25度。本設備*機械動作，自動化程度高，工藝簡潔，隨用隨開操作簡單方便.*專人管理和日常維護，遇故障自動停機報警，只需作定期檢查。
7、設備組合性強：“低溫等離子體”設備重量輕，體積小，可按場地要求立放、臥放，可根據廢氣濃度、流量、成份進行串、并組合設計達到完全的廢氣凈化。
8、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，抗氧化性強，對酸、堿氣體、潮濕環境等具有良好的防腐性能。使用壽命長達15年以上。
9、安全：“低溫等離子體”設備內使用電壓在36伏以下，安全可靠。

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