class100聯網智能化無塵烘箱 光刻工藝清洗后脫水無塵烘箱
無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。

一、無塵烘箱特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.采用智能控制系統,可對接MES系統數據采集需求，操作方便；
3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
4.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時產生PARTICLE；
5.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
6.完善的保護措施，漏電斷路器/**溫保護/欠相保護/馬達過載電流保護/機臺異常蜂鳴器警示，安全可靠！
二、規格尺寸多種可選(也可根據客戶尺寸定制）
型號	工作尺寸（mm）	外形尺寸（mm）	功率
COL-2-PC	W600×H600×D500	W950×H1510×D1240	 7.5Kw
COL-3-PC	W600×H900×D500	W950×H1810×D1240	10.5Kw
COL-4-PC	W800×H1000×D600	W1290×H1790×D955	11Kw
COL-5-PC	W1400×H1000×D700	W1950×H1790×D1055	17Kw

公司名稱：上海旦順實業有限公司

上海旦順實業有限公司簡介
提供完整的溫濕度管理問題解決方案
烘烤、除濕干燥、廠房環境溫濕度管理
 
    上海旦順實業有限公司（DONE-E）是一家集生產、銷售、服務于一體的烘箱、環境試驗箱、防潮箱產品及提供環境溫濕度管理專業解決方案的優秀供應商。公司已建立以環境試驗設備、烘箱、隧道爐等產品為主體的加工基地。
 
    我公司擁有專業的技術人才，**的生產設備，強大的生產型經濟實體，有穩定的原材料供應商和充分的優質貨源，為公司的長遠發展提供了有利的**。作為中國良好的環境管理系統提供商。公司專門為半導體、電子、醫藥、實驗室提供各種環境管理解決方案。
 
    為了確保公司產品繼續保持其競爭優勢， Done-e一直致力投資開發未來一代的**技術。目前 Done-e 已著手開發未來 5 至 10 年都可適用的**技術。
 
Done-e 的產品系列
精密熱風循環烘箱
真空烘箱
無塵烘箱
無氧烘箱
恒溫恒濕試驗箱
高低溫交變試驗箱
高低溫沖擊試驗箱
防潮箱
溫濕度自動監測系統