
干式真空泵報價干式真空泵主要用途
干式真空泵報價
1、半導體:芯片生產、刻蝕、離子注入、PECVD、 PVD鍍膜;
2、平板顯示器:液晶灌注、PVD真空鍍膜、離子刻蝕;
3、LED:刻蝕、PECVD、 電子束蒸鍍、磁控濺射、藍寶石爐;
4、太陽能電池制造領域: PECVD、 層壓機、刻蝕、單晶爐;
5、石油化工:油汽回收、真空蒸餾、溶劑回收;
6、制藥:溶劑萃取、溶媒回收、真空干燥、真空濃縮7、食品:真空干燥、真空包裝。
干式真空泵產品特點
1產品安全可靠,符合CE及SEMI認證;
2產品性能穩定、可靠性高;
3產品運行、維護成本低;
4產品工藝適應性廣;
5產品具備智能控制模式,可提供多種應用擴展。
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司創立于1958年。公司以創新為理念,經過半個世紀的發展,以真空技術為基礎,面向**科研儀器、半導體、太陽能、LED等高科技、新材料、新能源領域,以裝備制造為主業,成為集研發、生產、銷售、服務為一體的現代企業。沈陽科儀具備**的加工設備和檢測手段。擁有7000平方米的潔凈裝調間和特種工藝清洗線;擁有數控加工中心、數控銑床、立式加工中心等**的各類加工制造設備100余臺;擁有三坐標測量儀、臥式平衡儀、振動/噪聲測試實驗臺、氦質譜檢漏儀等****水平的大型檢測試驗儀器設備50余臺。主要產品:一、**產業真空應用設備。晶體制備設備:藍寶石晶體爐、碳化硅晶體爐、硅/鍺單晶爐設備等;薄膜制備設備:電子束蒸發、磁控濺射、硬碳膜設備等;二、科研類真空應用設備:各種PVD、CVD薄膜制備設備,真空冶金設備等;三、干式真空獲得設備:系列干式真空泵機組、渦旋干泵、螺桿泵、離子泵、**高真空插板閥,及真空部件等。