產(chǎn)品名稱：微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 
產(chǎn)品型號：ZLM800 
產(chǎn)品產(chǎn)地：德國 
制 造 商：德國耶拿爾測量技術(shù)有限公司 
  
詳細(xì)介紹:  

    ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量，角度變化量的監(jiān)測，移動平臺運動情況的檢測，及光刻機幾何量的測量，數(shù)控機床幾何量的測量，較多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。具有以下性能優(yōu)勢： 
l  真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商，眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。
l  全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方地區(qū)進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一一家將**的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l   激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。
l  干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。
l  計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l  采樣頻率更快，較高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l  被測物體較大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當(dāng)移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l   無加速度限制；當(dāng)光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。
l  信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l  對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù) 
型號：ZLM800 使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI 
He-Ne激光平均波長： 632.8 nm 
激光穩(wěn)頻精度： 一小時2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm） 
系統(tǒng)精度（0-40℃時）： ±0.4ppm 
光束直徑： 6mm (可選3.2mm) 
激光管突發(fā)較大輸出功率： 1mW (激光等級2) 
每束光可測量的軸數(shù)： 較多6個 
線性測量距離： 40m，可擴展為120m 
角度測量范圍： ± 15°，20m軸線范圍 
平面度測量范圍： 20m行程 
直線度測量范圍： ± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測30m行程 
垂直度測量范圍： ± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀 
較大速度： 4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度 
較大加速： 無限制 
較高采樣頻率： 內(nèi)部1MHz，外部40MHz 
預(yù)熱時間： 10分鐘 
精度/非線性： ±0.3nm (角隅反射鏡)
±0.1nm (平面反射鏡) 
距離測量分辨率： 0.6nm (角隅反射鏡)
0.3nm (平面反射鏡)
0.1nm 可選 
距離測量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK時
(20°±0.5°) 真空中時  
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 
線性度測量分辨率： 0.6nm (角隅反射鏡)
0.3nm (平面反射鏡)
0.1nm 可選 
線性度測量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK時
(20°±0.5°) 真空中時  
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 
速度測量精度： ±0.5ppm實測值 
角度測量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 
角度測量精度： ±0.1ppm實測值 
平面度測量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 
平面度測量精度： ±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離 
直線度測量分辨率： 36nm，10m行程
7.25nm，2m行程 
直線度測量精度： ±0.5%實測值，2m行程
± 2.5%實測值，10m行程 
垂直度測量分辨率： 36nm，10m行程
7.25nm，2m行程 
垂直度測量精度： ±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒* 
數(shù)據(jù)接口： 積分信號 
32 Bit (實時時間)
Dt ? 20 ns 
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 
工作環(huán)境： 溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝 
儲存環(huán)境： 溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝

上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司——主要從事各種進口儀器儀表、機械設(shè)備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。 為英國Scantron Industrial Products Ltd公司總代理，美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括光學(xué)粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀等。

    本公司的激光儀器主要為激光準(zhǔn)直、對中、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機械設(shè)備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應(yīng)用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設(shè)備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標(biāo)線和艉軸管檢測、汽車發(fā)動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設(shè)備輥軸的平行度的檢測，及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。