
專業(yè)定制**純水設(shè)備(去離子水設(shè)備)工藝簡(jiǎn)介 以**自來水為水源,通過強(qiáng)化預(yù)處理→雙級(jí)反滲透→EDI深度除鹽→拋光混床→終端**純化的組合工藝,實(shí)現(xiàn)符合SEMI**規(guī)范及GB/T 11446.1-2013 EW-I級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的**純水穩(wěn)定產(chǎn)出,適用于半導(dǎo)體芯片清洗、PCB顯影、實(shí)驗(yàn)室精密分析等場(chǎng)景,具體流程如下: 核心工藝路線 預(yù)處理單元(低污染強(qiáng)化設(shè)計(jì)) 多介質(zhì)過濾:304不銹鋼濾罐(內(nèi)壁電解拋光Ra≤1.6μm),填充級(jí)配石英砂+無煙煤濾料,去除懸浮物至濁度≤0.1NTU、SDI(污染指數(shù))≤3,通過“水反沖+氣擦洗”三段式自動(dòng)反沖洗,濾料再生效率≥98%。 活性炭吸附:椰殼活性炭(碘值≥1000mg/g)特異性吸附余氯(≤0.01mg/L)、TOC(去除率≥80%)及重金屬(Cu2?、Ni2?≤0.01ppm),配備在線TOC監(jiān)測(cè)儀聯(lián)動(dòng)提示更換。 軟化+精密過濾:鈉離子交換樹脂將水硬度降至0.01mmol/L以下,5μm保安過濾器截留微小顆粒,為核心純化提供“無顆粒”進(jìn)水。 核心脫鹽單元(雙級(jí)RO+EDI深度凈化) 雙級(jí)反滲透:一級(jí)RO脫鹽率≥99%,二級(jí)RO進(jìn)一步將總鹽分降至ppb級(jí),產(chǎn)水電導(dǎo)率≤2μS/cm,滿足EDI進(jìn)水要求。 EDI電去離子:結(jié)合離子交換與直流電場(chǎng),*酸堿再生,產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定在15-18MΩ·cm,去除殘余離子及微生物。 終端**純化單元(半導(dǎo)體級(jí)精度**) 拋光混床:核級(jí)拋光樹脂(如Tulsion? MB-106)去除痕量離子,使電阻率提升至18.2MΩ·cm(理論極限值),滿足14nm及以下芯片生產(chǎn)用水需求。 紫外氧化+終端過濾:185nm紫外燈分解TOC(≤10ppb),254nm紫外燈殺滅微生物,0.22μm終端過濾截留微粒(≥0.1μm顆粒≤1個(gè)/ml)。 技術(shù)特點(diǎn)與合規(guī)設(shè)計(jì) 材質(zhì)潔凈度:管道、水箱采用316L不銹鋼(EP級(jí))或PVDF,內(nèi)壁電解拋光至Ra<0.5μm,防止溶出污染。 智能控制:PLC全自動(dòng)運(yùn)行,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電阻率、TOC、顆粒數(shù)等12項(xiàng)指標(biāo),支持與生產(chǎn)線MES系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),**24小時(shí)穩(wěn)定供水。 模塊化定制:可根據(jù)工序需求(如晶圓清洗、蝕刻)調(diào)整工藝參數(shù),適配間歇式生產(chǎn)特性,占地面積僅0.5-2㎡。 應(yīng)用場(chǎng)景與水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn) 適用場(chǎng)景:半導(dǎo)體晶圓清洗、PCB顯影、光刻膠配制、電子元件測(cè)試、實(shí)驗(yàn)室精密分析等。 水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):符合SEMI**規(guī)范(電阻率≥18.18MΩ·cm,TOC≤1ppb,溶解氧≤1ppb)及GB/T 11446.1-2013 EW-I級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。 選購(gòu)建議 原水適配:原水硬度>300mg/L時(shí)需配置軟水器,TOC含量高時(shí)增加TOC降解器。 功能配置:優(yōu)先選擇帶在線水質(zhì)監(jiān)測(cè)、自動(dòng)消毒及密封系統(tǒng)的機(jī)型,延長(zhǎng)膜壽命(RO膜更換周期2-3年)。 合規(guī)認(rèn)證:確認(rèn)設(shè)備通過*****檢測(cè)認(rèn)證,供應(yīng)商提供GMP認(rèn)證支持及半導(dǎo)體行業(yè)專項(xiàng)運(yùn)維服務(wù)。
濱潤(rùn)環(huán)保自創(chuàng)建以來,主要從事生物,保健品,化妝品,工業(yè),化工,醫(yī)院等去離子純水,純化水,**純水,注射用水、純蒸汽發(fā)生器的成套設(shè)備,能提供從原水開始到合格純水,全套工藝設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、安裝、調(diào)試及設(shè)備文件資料等“交鑰匙”工程。公用工程(純蒸汽、潔凈壓縮空氣、氮?dú)猓┖凸に嚿a(chǎn)設(shè)備(CIP、SIP、自動(dòng)化系統(tǒng))的設(shè)計(jì)、施工和驗(yàn)證服務(wù)于一體的專業(yè)工程設(shè)備公司。? “專業(yè)精湛、優(yōu)質(zhì)服務(wù)”是公司永恒的宗旨,堅(jiān)持“科技良好,優(yōu)質(zhì)*,客戶至上,尊信守約”的理念以及質(zhì)量方針,為我們的客戶提供‘零缺陷’的產(chǎn)品和周到的服務(wù)是濱潤(rùn)環(huán)保每位員工始終不渝的奮斗目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品都有嚴(yán)格的質(zhì)量控制流程,在整機(jī)執(zhí)行元件的選配上也都采用****品牌,如:美國(guó)GF、美國(guó)GE、杭州南方、丹麥格蘭富、美國(guó)杜邦、西門子IONPURE、美國(guó)海德能等,確保整機(jī)長(zhǎng)期無故障運(yùn)行。? 公司以其可靠的質(zhì)量、完善的服務(wù)、精湛的技術(shù),為國(guó)內(nèi)外合作伙伴提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品以及貼心的服務(wù)。我們真誠(chéng)希望以滿腔的熱情,周到的服務(wù)與各界朋友共謀發(fā)展、再續(xù)輝煌。






