測量原理
示蹤法校準(zhǔn)
總偏差符合DIN 4772
等級1
測量范圍/分辨力
±8μm/1 nm;±80μm/10 nm;±400μm/50 nm;±800μm/100 nm;±8000μm/1000 nm
截斷值
0.025；0.08；0.25；0.8；2.5；8（mm）；可選擇在-2到+1步進長度；范圍從0.001到80。步進0.001
DIN 4768
RC, 數(shù)字計算[mm]，分割長度0.025；0.08；0.25；0.8；2.5；8
DIN EN ISO 11562,Part 1,（Gauss）
Gauss{M1}數(shù)字分割長度0.025；0.08；0.25；0.8；2.5；8
DIN EN ISO 13565-1
2x Gauss{M2} Rk-參數(shù)，分割長度0.025；0.08；0.25；0.8；2.5；8
ISO 3274/11562
短波分割長度λs；可選擇步進λc/λs 30；100；300
ISO 3274/11562
形成filter
橫向移動速度vt
標(biāo)準(zhǔn) 0.05；0.15；0.5 mm/s；可變 0.01 – 2.0 mm/s以0.01步進
移動行程
0.48；1.5；4.8；15；48 mm或從0.1 – 120 mm可變
分割λ[mm]
0.08；0.25；0.8；2.5；8.0
粗糙度參數(shù)：DIN EN ISO 4287
Ra；Rz；Rmax；Rt；Rq；Rsk；Imo；Io；Rdq；da；In；La；Lq；Rz-ISO；R3z；R3zm；Rp；D；RPc；RSm；Rpm/R3z；Ir；Rku；tpif；tpia；tpip；tpic；Rt/Ra；Rz1；Rz2；Rz3；Rz4；Rz5；Rmr；Rmr%；Api
輪廓參數(shù)：DIN EN ISO 4287
Pt；Pp；Pz；Pa；Pq；Psk；PSm；Pdq；Ip；Pku；tpaf；tpaa；tpab；tpac；Pmr0；APa；APa%；Pmr；Pmr%
波紋度參數(shù)：DIN EN ISO 4287
Wt’；Wp；Wz；Wa；Wq；Wsk；WSm；Wdq；Iw；Wku
電壓
100 V – 240 Volt, 50 – 60 Hz, 160 A
放置溫度
-20℃到 + 50℃