ESD的意思簡單的說就是“靜電釋放”的意，它是英文：Electro-Static discharge 的縮寫，即"靜電放電"的意思。靜電是一種客觀的自然現(xiàn)象，產(chǎn)生的方式多種，如接觸、摩擦等。靜電的特點(diǎn)是高電壓、低電量、小電流和作用時(shí)間短的特點(diǎn)。人體自身的動(dòng)作或與其他物體的接觸，分離，摩擦或感應(yīng)等因素，可以產(chǎn)生幾千伏甚至上萬伏的靜電。靜電放電引起的組件擊穿損害是電子工業(yè)較普遍、較嚴(yán)重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿.硬擊穿是一次性造成元器件介質(zhì)擊穿、燒毀或*性失效；軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數(shù)指標(biāo)下降。而磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業(yè)中的兩大危害源。因此，在電子工業(yè)生產(chǎn)過程中每一道工序都要防止靜電放電造成的擊穿而造成大量報(bào)廢，美國每年因靜電放電致使半導(dǎo)體器件的損失達(dá)100億美元，英國達(dá)20億美元，日本的微電子產(chǎn)品報(bào)廢損失中有70%是因靜電放電造成的，更可怕的是有些**大規(guī)模集成電路在出廠時(shí)已被部分傷擊傷，但未完全斷開，而造成產(chǎn)品良率降低及使用壽命縮短，甚或在航天或重大領(lǐng)域則可能造成不可挽回的事故，所以ESD是在微電子應(yīng)用領(lǐng)域中非常嚴(yán)重的問題。
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