◆工作溫度：300~1300℃ 
　　◆有效口徑根據用戶擴散片確定，可訂制 
　　◆恒溫區長度：1080mm（可根據用戶要求定制） 
　　◆溫區精度（靜態閉管測試）： 
　　600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃ 
　　300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃ 
　　◆單點溫度穩定性（靜態閉管測試）： 
　　600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h 
　　300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h 
　　◆溫度斜變能力： 
　　較大可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min 
　　較大降溫速度（1300～900℃）：5℃/min 
　　◆氣體流量設定精度：±2％FS 
　　◆氣路系統氣密性：1×10-7PA.m3/s 
　　◆自動送料裝置行程：~2000mm 
　　速度：5~1000mm/min 
　　SiC漿承重 19kg 
　　◆裝片數量 400片/管 
　　◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房） 
　　◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz； 
　　◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min 
　　太陽能電池擴散主要有開管擴散和閉管軟著陸擴散兩種形式 
　　◆閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開送入石英管內，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入到石英管內。閉管軟著陸擴散方式工藝過程完全不受外界環境干擾，工藝質量完全受保護。 
　　◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進口，可在達到±0.25℃的控制精度。 
　　◆送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側面布局的懸臂推拉結構，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機構受腐蝕，影響推拉機構的精確性。

青島福潤德微電子設備有限公司目前的主要產品有太陽能擴散爐、程控高低溫擴散爐、微控高低溫擴散爐、低壓化學氣相沉積設備，真空燒結爐、氫氣爐、鏈式燒結爐、隧道爐、LED**合金爐、LED**交換爐、**智能溫度控制儀和替代進口的擴散爐爐體， 同時承接各種微電子生產線及進口半導體**設備的翻新改造工作。福潤德全體員工熱忱歡迎國內外廣大新老客戶來我公司洽談業務，共圖發展。