LUPHOScan非接觸三維形貌測(cè)量?jī)x
LuphoScan是基于MWLI(多波長(zhǎng)干涉)技術(shù)的非接觸三維形貌掃描測(cè)量系統(tǒng)，它能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、非接觸的光學(xué)元件面形測(cè)量，包括測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的各種球面、非球面、平面、自由曲面等。


測(cè)量原理
利用MWLI（多波長(zhǎng)干涉）點(diǎn)傳感器連續(xù)測(cè)量傳感器到被測(cè)件的距離。被測(cè)件放置在一個(gè)可360度旋轉(zhuǎn)的平臺(tái)上，兩個(gè)線性平臺(tái)（水平(R)及垂直(Z）)用來(lái)控制MWLI傳感器。在標(biāo)準(zhǔn)操作模式下，傳感器垂直于被測(cè)表面，同時(shí)沿著樣件對(duì)應(yīng)的理想的輪廓移動(dòng)完成面形掃描， 由此產(chǎn)生的點(diǎn)狀圖即顯示了可能出現(xiàn)的任何偏差和缺陷 從而完成了對(duì)面形的測(cè)試。
測(cè)量精度
利用參考傳感器及*特的補(bǔ)償系統(tǒng)， 實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的高精度測(cè)量。通過(guò)補(bǔ)償系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)測(cè)量傳感器的連續(xù)**定位，并補(bǔ)償了R，Z及T軸的機(jī)械誤差。配合**高精度的MWLI傳感器技術(shù)，LuphoScan系統(tǒng)**了在整個(gè)測(cè)量區(qū)的面形精度優(yōu)于50nm。
應(yīng)用
LuphoScan干涉儀可以用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面的面形，其坐標(biāo)軸的布局允許它測(cè)量大非球面的元件及**狀元件，除此之外，還能實(shí)現(xiàn)對(duì)垂直表面高度的**測(cè)量，甚至信號(hào)中斷之后也可以繼續(xù)測(cè)量。這樣可以實(shí)現(xiàn)透射元件、金屬面、拋光前后、球缺表面的測(cè)量。

技術(shù)參數(shù)
型號(hào)Luphoscan+R測(cè)量技術(shù)光纖多波長(zhǎng)干涉技術(shù)掃描模式2D線性掃描輪廓，等距，普通3D拓?fù)鋻呙栊D(zhuǎn)，等距，普通測(cè)量范圍260mm (直徑)×75 mm（高度）精度P2V
(光束入射角度<2°)拋光Ra<2um2um≦Ra≦5um±50nm±250nm±1um縱向分辨率0.1nm重復(fù)性RMS3nm光斑大小4μm橫向分辨率(點(diǎn)/mm2）(可調(diào))0,1….2×105測(cè)量時(shí)間平面,Ф=25mm120s (16 poins/mm2),
240s(100 poins/mm2球面Ф=60mm
ROC=40mm200s(16 poins/mm2),
442s(100 poins/mm2球面Ф=80mm
ROC=80cm365s(16 poins/mm2),
733s(100 poins/mm2）非球面度無(wú)限制，一般≥1000μm較大測(cè)試傾斜90°較大測(cè)試口徑260mm、420mm（或更大） 
 
面形材料拋光，粗糙，鏡面，透明，不透明，金屬表面
面形種類（任何的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面） 球面、非球面、平面、部分自由曲面、臺(tái)階
 
 
詳情電聯(lián) 1392 1392 657
測(cè)量時(shí)間 : **測(cè)量 ;
測(cè)量方式 : 非接觸式，不破壞表面 ;
設(shè)備精度 : **分辨率0.0001mm ;
用途 : 球面,非球面,平面,部分自由曲面,臺(tái)階形狀測(cè)量 ;
較近工作距離 : 10（mm） ;
測(cè)量分辨率 : 0.0001mm ;
測(cè)量范圍 : 260mm (直徑)×75 mm（高度） ;
品種 : 激光干涉儀 ;
型號(hào) : Luphoscan+R ;
** : LUPHOScan ;
類型 : 激光干涉儀 ;
加工定制 : 否 ;