小型真空鍍膜裝置 VPC-260FVPC系列／小型真空鍍膜裝置 

 特　性
在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、真空管、電力系統、壓力測量口等必要機器的電阻加熱式低成本小型真空蒸發裝置。較適合用于小基板尺寸的基礎研究開發等實驗。 應　用
1.帶腳輪，*移動的排氣裝置。2.通過玻璃鐘罩可看到內部，操作性能良好。3.不會使主泵停止運轉，可以對真空槽進行開放。4.通過蒸發電源和電極的追加，實現同時蒸鍍和多層蒸鍍。 
規格參數向前頭頁型　號VPC-260F真空性能極限壓力1.3 × 10-3Pa
6.6 × 10-4Pa (使用液氮時)排氣時間4.0 × 10-3Pa/20min 
1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮時)真空艙鐘罩尺寸玻璃鐘罩 （直徑300mm × 300mm(H))饋通圈8個端口（8側面）標準基板??較大尺寸※1□50mm ?? □140mm（較大）供電系統蒸發電極結構1點式蒸發電源SEREM　“PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (較大)排氣系統主泵油擴散泵（氣冷） 200 L/sec液氮冷阱有前級泵油旋片真空泵 100 L/min油霧過濾器可選操作系統主閥門瓣閥副閥門三向切換閥自動滲漏閥可選控制手動控制控制系統皮拉尼真空計可選電離真空計可選外形尺寸（主體）530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H)尺寸（蒸發電源）480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)重量（主體）75kg重量（蒸發電源）40kg※1:不考慮基板較大尺寸時的膜厚分布值。條　件向前頭頁型　號VPC-250F電源需求主體單相, 100V, 1.35kVA蒸發電源單相, 200V, 1.5kVA接地端子D級（接地抗阻/100Ω 或更低）附件主體 ： 單相, 100V乙烯絕緣軟電纜（帶插頭） 2m蒸發電源 ： 單相, 200V乙烯絕緣軟電纜（R2.0-5帯端子） 
#br#外形圖向前頭頁VPC-26
#br#蒸發電源　SER
#br#饋通圈向前頭頁標準  bsp;可選部件※如果您單擊一個選項，您可以看到這個選項中的內容。向前頭
#br#
鍍膜原理 : 蒸發鍍膜 ;
鍍膜材質 : 離子銀 ;
鍍種 : 真空鍍膜 ;
電鍍位置 : 浸鍍 ;
電鍍電源 : 直流電源 ;
適用范圍 : 材料試驗，太陽能新能源研究 ;
型號 : VPC-260F ;
** : ULVAC ;
加工定制 : 是 ;

玉川真空，**從事真空技術服務，面向：材料科學、生物技術、醫藥研發、制冷干燥、光伏、新能源、鋼鐵冶金、激光技術、核磁技術等諸多領域，提供定制化的真空系統解決方案。同時，也致力于為高校，科研院所，提供靈活快捷的小型試驗設備加工。我們在北京設有生產工廠，歡迎您來人來電，洽談業務。 中文服務熱線：4006-040-858 上*務所： 徐匯區龍吳路1500號A座707 北京事務所： 豐臺區三路居孟家橋甲1號 自有** Tamarive玉川
加工方式 : OEM加工;ODM加工;來圖加工;
工藝 : 機加工;涂層;電鍍;表面處理;
**名稱 : TamaRive 玉川
質量控制 : 內部