ST2271A型數字式雙電測四探針測試儀簡介
一、結構特征
二、概述
ST2271A型多功能數字式方阻測試儀是運用方形四探針Keywell測量原理的多用途綜合測量裝置,它與直線四探針相比,*了探針游離對測試結果的不利影響,大大提高**度,并提高微區測試能力,
它可以測量片狀、塊狀半導體材料的電阻率,擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。也可測柔性導電薄膜和玻璃等硬基底上導電膜的方塊電阻(簡稱方阻),換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。
本測試儀特贈設測試結果分類功能,較大分類10類
儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;自動轉換量程;測試探頭采用寶石導向軸套和高**碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長;測試結果由數字表頭直接顯示。
三、基本技術參數
1.測量范圍、分辨率
電 阻: 1.0×10-3~ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω
電 阻 率: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω-cm 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω/□ 分辨率1.0×10-3~ 0.1×103 Ω/□
2.可測半導體材料尺寸
直 徑: 測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
長(或高)度: 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3.量程劃分及誤差等級
量程
200.0
20.00
2.000
200.0
20.00
2.000
200.0
kΩ-cm/□
Ω-cm/□
mΩ-cm/□
誤差
±0.5%FSB±1LSB(在各量程范圍內),**量程或欠量程可測量,但誤差將隨**欠程度而變大
4)工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5)外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
凈 重:≤1kg
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電源 : 工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W ;
尺寸 : 外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm(mm) ;
重量 : 0.8(kg) ;
頻率 : 50(HZ) ;
功率 : 0.005(KW) ;
測量精度 : ±0.5%FSB±1LSB(在各量程范圍內) ;
測量范圍 : 方塊電阻:1.0×10-3 ~ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ~ 0.1×10 ;
類型 : 電參數測量儀 ;
型號 : ST2271A型多功能數字式四探針測試儀 ;
** : JG晶格 ;
加工定制 : 是 ;