主要特點
歐美技術，橫梁與Z軸均采用大理石結構，溫度一致性較佳；中間鏤空，三角橫梁，降低了機器的重心并降低了運動部件的質量，減少了測量機在高速運行時的慣性及偏擺。
三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩，導軌**受磨損。
三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺。
各運動軸均采用直流伺服驅動，確保運動的平穩和準確。
X向采用精密三角梁專利技術，相比矩形橫梁，重心更低，質量剛性比較佳，運動更加可靠。
Z軸采取獲得專利的氣動平衡技術，采用柔性懸掛系統，避免了軸向運動和傳動系統之間的干涉問題。

技術參數
型號		        564	686     8106    8126
行程大小（mm）	X	500	600	800	800
	        Y	600	800	1000	1200
	        Z	400	600	600	600
測量空間（mm）	Dx	634	734	934	934
	        Dy	144	144	144	144
	        Dz	594	794	794	794
外形尺寸（mm）	Lx	1050	1150	1350	1350
	        Ly	1535	1735	1935	2135
	        Lz	2247	2647	2729	2729
平臺mm	        Ph	783	783	805	805
	        Py	1155	1355	1555	1755
支撐mm	        Sy	824	978	1178	1378
	        Sy1	356	379	379	379
承重kg		        300	300	500	500
機器重量kg		590	730	730	1196
MPEe（μm）		 2.8+L/300        3.0+L/300	
MPEp（μm）		     3.5	      4	
光柵尺分辨率μm		            0.5			
空間移動速度mm/s		    520			
空間移動加速度mm/s		    1530			
流量/供氣壓力		      120N1/min 0.45Mpa			
溫度		                   20±2℃			
濕度		                   45%-75%			

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