在研磨過程中，用氧化鉻作磨料的研磨劑涂在研具的工作表面，由于磨料比研具和工件軟，因此研磨過程中磨料懸浮于工件與研具之間，主要利用研磨劑與工件表面的化學作用，產生很軟的一層氧化膜，凸點處的薄膜很容易被磨料磨去。此種方法能得到較細的表面粗糙度(Ra0.02～0.01μm)。

　　上本精密公司提醒：研磨加工時，在研具和工件表面間存在分散的細粒度砂粒（磨料和研磨劑）在兩者之間施加一定的壓力，并使其產生復雜的相對運動，這樣經過砂粒的磨削和研磨劑的化學、物理作用，在工件表面上去掉較薄的一層，獲得較小的表面粗糙度和很高的精度。
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