
鈦 靶 一、牌號 國內牌號:TA1、TA2。 美標牌號:GR1、GR2。 二、靶材的主要性能要求: (1)純度 純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。 (2)雜質含量 靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。 (3)密度 為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。 (4)晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。 三、加工工藝 鍛造、軋制。 四、表面 車光、倒角。表面清潔光滑,無起皮,氣孔,裂紋等缺陷。 五、規格 Φ100*40,Φ98*40,Φ95*45,Φ90*40,Φ85*35,Φ65*40較常見,其他規格可按客戶要求制作。 六、執行標準 國標:GB/T 16598,GB/T2965 。 美標:ASTM B381,ASTM F67,ASTMF136, ASTM B348。 七、檢測 破壞性檢測:物理性能測試,硬度測試,化學成分測試。 無損檢測:超聲檢測,滲透檢測,外觀檢測。
公 司 簡 介 寶雞勝邦鈦業有限公司位于炎帝故里,青銅器之鄉,****遐邇的鈦城——寶雞。公司主要從事鈦及鈦合金、鎳及鎳合金、有色金屬、難溶金屬的生產、加工、研發、銷售。公司依托寶鈦集團及西北有色金屬研究院的**檢測設備,從原材料嚴格把關、應用科學的生產工藝,為客戶提供高質量、**的鈦材產品。 公司主要經營鈦及鈦合金鈦板,鈦棒,鈦管,鈦絲,鈦靶材,鈦鍛件,鈦種板,鈦盤管,鈦設備,鈦法蘭,鈦標準件,鈦加工件;鎳及鎳合金鎳板,鎳棒,鎳管,鎳絲,鎳法蘭,鎳靶材;鋯及鋯合金材料。我公司以出廠產品質量好、信譽高、價格合理為生產經營原則,為立足商界打好了堅實的根基。 我們的企業宗旨是:以人為本、誠信立業,薈萃業界精英,將國外**的信息技術、管理方法與國內企業的具體實際情況相結合,為客戶提供*的放心服務與合格產品,使企業在激烈的市場競爭中始終保持競爭力,實現快速、穩定的長遠發展。 寶雞勝邦鈦業有限公全體員工熱誠歡迎各界商客來我們公司考察指導,希望我們能成為您較可信賴的長期合作伙伴。










